최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 충남대학교 Chungnam National University |
---|---|
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2007-04 |
주관부처 | 산업자원부 |
등록번호 | TRKO201200004080 |
과제고유번호 | 1410033623 |
DB 구축일자 | 2013-05-20 |
키워드 | 화학기상 증착법.질화티타늄 박막.밀착력.박리.나노인덴테이션.CVD.TiN thin films.adhesion.delamination.nano-indentation. |
o (주) TNP의 코팅금형재의 경질박막 박리 문제점 해결 및 밀착력 향상 기술지원
- 박막의 박리 및 파손의 원인은 초기 반응시 반응가스의 불균일함에 의한 조성 불균일로 인한 박막의 인성부족 및 취성 증가로 박막 파손(박리결함 발생)
- AES, GDS, EPMA 등 을 이용한 분석
- Hardness tester, Nano-indentor, XRD, Scratch tester, Surface profiler등을 이용한 구조 및 물성 측정
- 박막의 밀착력을 40N이상으로 향상 (최대 약 53N)
- 나
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.