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연합인증

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[국가R&D연구보고서] 반도체 웨이퍼 표면 부착 오염 물질의 실시간 모니터링 기술 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 원광대학교
WonKwang University
연구책임자 정광우
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2005-01
주관부처 산업자원부
연구관리전문기관 산업자원부
Ministry of Commerce Industry and Energy
등록번호 TRKO201200004455
DB 구축일자 2013-05-20

초록

▶ 기술적 측면
반도체 클린룸 내 기체상 유기 및 무기 분자들의 실시간 분석 기술
- 극미량 화합물의 고효율 농축 및 고감도 (ppb) 검출기술 (그림 1)
- 오염원별 오염수준에 대한 공정 영향 평가
- 분석 장비의 소형화와 실시간 측정 구현
- 인터넷을 기초한 통합 관리 기술 구축 (LAN 이나 RS232C를 이용한 데이터 전송 및 통신)
- 타 산업(환경, 바이오, 우주항공 등)에의 기술 적용확대 (대기환경 모니터링, 생체고분자 분석, 우주탐사 및 군사용 생화학물질의 탐지시스템 구축)

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 2004 대학보유기술이전사업 제품화 구현과제 최종보고서 ... 2
  • 요약서 (초록) ... 3
  • 목차 ... 5
  • 1. 제품화과제 목표 및 내용 ... 6
  • 가. 제품화 기술의 중요성(필요성) ... 6
  • 나. 제품화 목표 ... 8
  • 다. 제품화 내용 및 범위 ... 8
  • 2. 제품화 결과 ... 11
  • 가. 제품화 목표대비 결과 ... 11
  • 나. 제품화 결과 ... 11
  • 3. 제품화 결과 사업화 가능성 여부 ... 39
  • 4. 향후 산업체 연계 및 활용 계획 ... 41
  • 5. 제품화 결과 문제점 및 개선상안 ... 41
  • 가. 문제점 분석(기술적, 상업적 문제점) ... 41
  • 나. 개선방안 ... 41
  • 6. 주요시설, 기자재 구입 및 관리현황 ... 42
  • 7. 산업체연계 결과활용(참여기업이 작성) ... 43

참고문헌 (25)

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