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초고주파 다기능 플라즈마 시스템 개발 및 플라즈마응용 연구인력 양성 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 부산대학교
Busan National University
연구책임자 이호준
참여연구자 김동현 , 이성관 , 최준영 , 조용성 , 옥정우 , 박현동 , 김현종 , 최원형 , 이대성
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2006-06
과제시작연도 2005
주관부처 산업자원부
사업 관리 기관 산업자원부
Korea Institute for Industrial Economics and Trade
등록번호 TRKO201200004458
과제고유번호 1410055740
사업명 지역혁신인력양성
DB 구축일자 2015-01-08
키워드 초고주파 플라즈마.고주파 플라즈마.펄스모듈레이션.시변플라즈마 진단.폴리우레탄 표면처리.Rubber표면처리.Mesh 전극.Sheath Dynamics.EVA.

초록

○ (주)고려자동화에서 개발 중인 습식도금 전처리용 플라즈마 장비 개발의 지속적인 기술지원
○ 본 과제 수행을 통해 얻어진 인프라를 활용, 두꺼운 절연재료의 표면처리에 적합한 저-중 에너지 중성입자 발생용 플라즈마 (Plasma Engine의 역이용 개념) 처리장치 기본 연구
○ 지역 중소기업을 위한 플라즈마진단 서비스
○ 부품소재의 고부가가치화를 위한 플라즈마 표면처리기술 (중소)기업지원
○ 저-중 에너지 중성입자 발생용 플라즈마 처리장치 개발
○ 지역 중소기업을 위한 플라즈마 진단 서비스 수행

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제출문 ... 2
  • 요약서 (초록) ... 3
  • 목차 ... 5
  • 제1장 서론 ... 7
  • 제2장 초고주파 플라즈마 시스템 개발 ... 8
  • 제1절 개괄 ... 8
  • 제2절 초고주파 방전의 기본원리 ... 11
  • 제3절 파워 도입부 설계 및 시뮬레이션 ... 23
  • 제4절 마그네트론 구동전원 ... 47
  • 제3장 고주파 플라즈마 시뮬레이션( I ) ... 51
  • 제4장 플라즈마 진단장비 개발 및 진단 ... 60
  • 제1절 Langmuir Probe의 기본 원리 ... 60
  • 제2절 Standalone 형 Langmuir Probe 플라즈마 진단 장비 개발 ... 63
  • 제3절 참여기업의 플라즈마장비 특성진단 ... 82
  • 제5장 플라즈마 시스템 구축 및 진단 ... 89
  • 제1절 플라즈마 시스템 구축 ... 89
  • 제2절 플라즈마 기본 특성진단 ... 97
  • 제3절 Pulse Modulated Plasma Global Modeling 및 시변 플라즈마 특성 진단 ... 108

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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