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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 김종국 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2003-08 |
주관부처 | 산업자원부 |
사업 관리 기관 | 산업자원부 Korea Institute for Industrial Economics and Trade |
등록번호 | TRKO201200005066 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
►cathode의 사용 효율 및 자장 필터에 관한 특허 및 자료 조사
►기 보유한 single 원형 cathode 직렬 필터형 아크소스의 특성 파악
- 직렬 필터형 아크 소스의 정자장 해석 및 설계 인자 확립
- 음극 증발부의 아크 스팟의 신뢰성 확립을 위한 제어 인자 파악
- 거대 입자 제거를 위한 굽은형 자장 여과 필터 설계 및 제작
►플라즈마 및 열침식 방지를 위한 주변 핵심 부분품 설계 방안 설정 및 자기장, 빔인출 성능 평가
►코팅된 박막에 대한 특성 분석
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