초록 ▼

본 연구에서는 70"급 대면적 글라스코팅 양산기술 개발을 위해 1차년도에 상압플라즈마에 의한 유기물 세정을 위한 환경친화적 세정기술을 확립하였으며, 진공중 세정에 의한 박막 밀착력 향상시켰으며, 증착속도 ITO박막 기준 500${\AA}$/min 이상, 박막 막후 균일도 ${\pm}$5% 이하의 특성을 갖는 고성능 박막중착용 캐소드를 개발하였으며, 2단계 연구 수행 종료시점인 현재에는 인라인 공정에서의 각 단계별 전용 시스템 구축 및 공정 최적화하여, 각 박막별 최적공정조건 및 여타 공정변수에

본 연구에서는 70"급 대면적 글라스코팅 양산기술 개발을 위해 1차년도에 상압플라즈마에 의한 유기물 세정을 위한 환경친화적 세정기술을 확립하였으며, 진공중 세정에 의한 박막 밀착력 향상시켰으며, 증착속도 ITO박막 기준 500${\AA}$/min 이상, 박막 막후 균일도 ${\pm}$5% 이하의 특성을 갖는 고성능 박막중착용 캐소드를 개발하였으며, 2단계 연구 수행 종료시점인 현재에는 인라인 공정에서의 각 단계별 전용 시스템 구축 및 공정 최적화하여, 각 박막별 최적공정조건 및 여타 공정변수에 따른 박막 성능에 대한 데이터 베이스를 구축하였고 이에 의해 단위공정 속도 1장/5분으로 양품율 95%이상, 가동율 90% 이상의 양산기술을 확립하였음. 70"급 대면적 글라스코팅 양산기술을 통해 PDP용 박막 제조 비용과 품질 향상을 이룰 수 있어서 국내 PDP 산업의 경쟁력 제고에 크게 기여할 수 있으며, 차세대 평판 디스플레이 산업의 핵심 장치 공정 기술의 독자 기술 확보로 선진국의 기술 예속 탈피와 무역 역조 개선에 기여할 수 있으며, 스퍼터링을 이용한 반도체 및 타 부품산업의 경쟁력 확보에 기여 가능할 것으로 판단됨.

Abstract ▼

- Industrialization of the glass coating equipment for producing 70" PDP
- Development of a coating equipment for producing a large area coated glass
${\cdot}$ Development of a pre-treatment by using ion beam gun and atmospheric pressure plasma
${\cdot}$ Development

- Industrialization of the glass coating equipment for producing 70" PDP
- Development of a coating equipment for producing a large area coated glass
${\cdot}$ Development of a pre-treatment by using ion beam gun and atmospheric pressure plasma
${\cdot}$ Development of a plasma source for the high rate deposition
- Industrializationof rate deposition the coating process for obtainung the high quality transparent conductive oxide films
- Development of a coating process
${\cdot}$ Study on optimizing the coating processes for 70" glass
${\cdot}$ Establishment of the process control factors for ITO coatings on 70" glass

목차 Contents

• 표지...1
• 제출문...2
• 보고서 초록...3
• 요약문...4
• SUMMARY...6
• CONTENTS...8
• 목차...10
• 제1장 서론...12
• 제2장 국내회 기술 개발 현황...14
• 제1절 국내외 PDP 생산장비 개발 현황...14
• 1. 개요...14
• 2. 대면적 코팅 장치 개발 현황...16
• 제2절 국외의 PDP 생상 장비 개발 현황...18
• 1. 일본의 PDP 공정 기술 개발 및 생산 장비 개발 현황...18
• 2. 미국의 개발 현황...26
• 3. 유럽 및 대만의 개발 현황...27
• 제3절 PDP용 코팅 기술 개발 전략...27
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과...29
• 제1절 대면적 투명 전도성 코팅 기술...29
• 1. 전극 형성 코팅 기술...29
• 2. 보호막 코팅 기술...29
• 제2절 대면적 코팅용 스퍼터링 시스템...32
• 1. 개요...32
• 2. 시스템 설계 제작...32
• 가. 진공 Chamber...32
• 나. 진공 배기 시스템...34
• 다. 가스유입 장치...35
• 라. Chamber Heating 장치...36
• 마. Carrier 설계 제작...37
• 바. Gate Valve 설계 제작...38
• 사. Throttle Valve 설계 제작...39
• 아. Glass Jig 및 Auto Venting 부품 설계 및 제작...39
• 자. 시스템 콘트롤 장치...41
• 차. 인라인 스퍼터링 시스템...42
• 제3절 대면적 고속 증착용 플라즈마 증착원 기술 개발...44
• 1. 서론...44
• 2. 고전업 펄스 전원 개발...46
• 가. 아크 제어 기술...46
• 나. 펄스 제어...53
• 3. 대면적 스퍼터 캐소드 개발...57
• 4. 증착원 개발 결과...63
• 제4절 대면적 투명 전도성 코팅 연구 결과...64
• 1. 플라즈마 세정...64
• 2. 고품위 투명 전도성 코팅 기술의 문제점...65
• 3. 인라인 스퍼터링 장치의 개조...66
• 제5절 스퍼터 코팅 실험 결과...69
• 1. 서론...69
• 2. 고품의 투명 전도성 코팅 연구...69
• 제4장 연구개발 목표 달성도 및 대외 기여도...71
• 제1절 연구목표 및 달성도...71
• 제2절 대외 기여도...72
• 1. 기술적 기여도...72
• 2. 경제적 기여도...72
• 3. 사회 ${\cdot}$문화적 측면...73
• 4. 타 기술에 미치는 영향...74
• 제5장 연구개발 결과의 활용계획...75
• 제1절 활용계획...75
• 제2절 기업화 추진 방향...76
• 1. 대면적 코팅 장치 개발 동향 분석...76
• 제6장 연구개발 과정에서 수집한 해외 과학 기술 정보...78
• 제1절 대면적 코팅 장치의 세계시장동향 및 기술 Trend...78
• 1. 세계시장 동향...78
• 2. 세계 선도 기업...78
• 3. 기술 개발 Trend...78
• 4. 국내외 기술 수준...79
• 5. 경쟁력 확보 대책...79
• 제7장 참고문헌...80