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자장여과아크 방식을 이용한 대전류 플라즈마 소스 개발 기술 지원 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
연구책임자 김종국
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2003-08
주관부처 산업자원부
사업 관리 기관 산업자원부
Korea Institute for Industrial Economics and Trade
등록번호 TRKO201200005066
DB 구축일자 2013-04-18

초록

►cathode의 사용 효율 및 자장 필터에 관한 특허 및 자료 조사
►기 보유한 single 원형 cathode 직렬 필터형 아크소스의 특성 파악
- 직렬 필터형 아크 소스의 정자장 해석 및 설계 인자 확립
- 음극 증발부의 아크 스팟의 신뢰성 확립을 위한 제어 인자 파악
- 거대 입자 제거를 위한 굽은형 자장 여과 필터 설계 및 제작
►플라즈마 및 열침식 방지를 위한 주변 핵심 부분품 설계 방안 설정 및 자기장, 빔인출 성능 평가
►코팅된 박막에 대한 특성 분석

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제출문 ... 2
  • 기술지원성과 요약서 ... 3
  • 목차 ... 8
  • 제1장 서론 ... 9
  • 제1절 기술지원 필요성 ... 9
  • 제2절 기술지원 목표 ... 10
  • 제3절 기술지원 내용 ... 10
  • 제2장 본론 ... 12
  • 제1절 기술지원 성과 ... 12
  • 제2절 기술지원 수행 ... 13
  • 1. 아크 소스에 대한 기본 교육 ... 13
  • 2. 아크 이온 플레이팅 장치 제작시 유의점. ... 21
  • 3. 자장여과아크 방식을 이용한 대전류 플라즈마 소스 ... 26
  • 4. 자장여과 아크소스의 운전 특성 조사 및 자료 확보 ... 30
  • 5. 자장여과 아크소스의 음극 증발부 개선 ... 42
  • 6. 자장여과 아크소스를 이용한 증착박막의 물성에 관한 자료 확보 ... 51
  • 7. 기술지원에 이용된 다양한 형태의 자장여과아크소스 ... 54
  • 제3장 결론 ... 55

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참고문헌 (25)

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