$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

미세가공(MEMS) 가스센서의 성능향상에 관한 기술지원 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국에너지기술연구원
Korea Institute of Energy Research
연구책임자 한상도
참여연구자 명광식 , 김병권
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2003-07
주관부처 산업자원부
사업 관리 기관 산업자원부
Korea Institute for Industrial Economics and Trade
등록번호 TRKO201200005075
DB 구축일자 2013-04-18

초록 ▼

소량의 가스를 검출하는 센서는 금속산화물 반도체 및 세라믹식 센서, 광학식 센서(혹은 cell) 및 전기화학식 센서(혹은 cell) 등으로 크게 분류된다. 광학식이나 전기화학식은 센서 및 이를 이용한 탐지기를 소형화하거나 대량 자동생산이 근본적으로 불가능하다. 따라서 가격이 몇 백만 원에서 수천만 원으로 높아서 분석 장비로 구비하는 형태로 이용되고 있다. 물론 수명이나 정밀도, 오동작 등의 문제도 남아 있다. 따라서 산업용이나 민수용으로 널리 보급하기에는 근본적인 문제가 있다.
이에 비해, 반도체식은 소형이며, 자동생산의 가능

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제출문 ... 2
  • 목차 ... 3
  • 제 1 장 서론 ... 4
  • 1. 기술지원 필요성 ... 4
  • 2. 기술지원 목표 ... 5
  • 3. 기술지원 내용 ... 6
  • 제 2 장 본 론 ... 7
  • 제 1 절 기술지원 성과 ... 7
  • 1. 기술지원의 달성 정도 ... 7
  • 2. 기술지원성과 ... 8
  • 제 2 절 기술지원 수행 ... 9
  • 1. 추진일정 ... 9
  • 2. 기술지원내용 ... 9
  • 가. MEMS 식각 공정기술 ... 9
  • 나. MEMS 박막 금속화 공정기술 ... 18
  • 다. 웨이퍼 테스트 및 평가 방법 ... 32
  • 라. 센서재료의 물성 ... 51
  • 마. 검지물질의 제조 ... 57
  • 바. 센서 및 재료의 성능 측정 ... 70
  • 제 3 장 본론 ... 81

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로