초록 ▼

대면적 세라믹 기판 및 LTCC 고집적 모듈 생산에 적합한 그린시트 제조 기술과 세라믹스 기판 층간 패턴 정밀도극 개선하기 위한 무수축 소성공정 기술을 확보하고자 함
- 대면석 고집적 모듈용 LTCC 고강도 소재로 상용파우더 MLS-22C를 선정함.
- LTCC 슬러리에 BYK-111 분산제 0.5wt% 첨가하여 분산공정을 최적화함.
- 그린시트 연신율, 인장강도, 압착강도 등 최적의 그린시트 물성을 확보하기 위하여 바인더 함량 및 P/B ratio에 따른 그린시트의 물성을 평가하여 Solid Loading이 41.

대면적 세라믹 기판 및 LTCC 고집적 모듈 생산에 적합한 그린시트 제조 기술과 세라믹스 기판 층간 패턴 정밀도극 개선하기 위한 무수축 소성공정 기술을 확보하고자 함
- 대면석 고집적 모듈용 LTCC 고강도 소재로 상용파우더 MLS-22C를 선정함.
- LTCC 슬러리에 BYK-111 분산제 0.5wt% 첨가하여 분산공정을 최적화함.
- 그린시트 연신율, 인장강도, 압착강도 등 최적의 그린시트 물성을 확보하기 위하여 바인더 함량 및 P/B ratio에 따른 그린시트의 물성을 평가하여 Solid Loading이 41.5vol%일때 바인더 함량이 10wt%이고 P/B ratio 0.3으로 최적화함.
- 세라믹 기판의 x-y축 소성 수축율을 0.5% 이내로 억제하기 위해 $AI_{2}O_{3}/LTCC/Al_{2}O_{3}$ 시편에 Load를 가하는 무수축 소성공정 기술을 확보함
- LTCC 두께가 1~5mm일때 적정한 Load를 가함으로써 LTCC 모서리 부분의 Edge curvature 발생을 해결할 수 있는 무수축 소성공정 기술의 최적조건을 제시함.
슬러리 분산 및 그린시트 제조 중정 기술 개발을 통해 그린시트 두께 편차, 소성수축율 편차, 소성 기판 평탄도의 초기 목표를 달성함

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 2
• 기술지원성과 요약서 ... 3
• 기술지원성과 요약문 ... 4
• 목차 ... 12
• 제 1 장 사업의개요 ... 13
• 제 1 절 기술지원 필요성 ... 13
• 제 2 절 기술지원 목표 ... 16
• 제 3 절 기술지원 내용 ... 17
• 제 2 장 국내ㆍ외 기술 현황 ... 18
• 제 1 절 제품 개요 ... 18
• 제 2 절 기술적 추이 ... 20
• 1. Hot Plate 및 프로브카드 발전 동향 ... 20
• 2. 그린시트 제조 ... 21
• 3. 태잎캐스팅 ... 21
• 4. 무수축 소성 기술 ... 24
• 제 3 절 시장동향 ... 28
• 제 3 장 기술지원 수행 내용 및 결과 ... 29
• 제 1 절 기술지원 수행 ... 29
• 1. 지원기업 현황 분석 ... 29
• 2. LTCC 소재 선정 ... 37
• 3. 슬러리 분산 및 유기물 함량 최적화 ... 42
• 4. 무수축 소성 기술 ... 58
• 5. HTCC 그린시트 최적화 ... 73
• 제 2 절 가술지원 성과 ... 80
• 1. 기술지원 추진일정 ... 80
• 2. 업무 추진체계 ... 81
• 3. 기자재 활용 ... 82
• 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 86
• 제 1 절 지원목표의 달성도 ... 86
• 제 2 절 관련분야에의 기여도 ... 87
• 제 5 장 기술지원결과의 활용계획 ... 88
• 제 6 장 참고문헌 ... 89