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보고서 상세정보

VGF (Vertical Gradient Freeze) 기술을 이용한 GaAs 웨이퍼 성장 기술 정립 및 평가

주관연구기관 성균관대학교 산학협력단
연구책임자 윤대호
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2008-03
주관부처 산업자원부
사업 관리 기관 산업자원부
Korea Institute for Industrial Economics and Trade
등록번호 TRKO201200005376
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 수직 경사 응고법.화합물 반도체.결정 성장.낮은 결함.갈륨.비소.VGF.compound semiconductor.crystal growth.low defect.GaAs.
초록

-. 최적의 성장조건하에서 낮은 결함밀도의 VGF (Vertical Gradient Freeze) 성장로에 대한 성능을 구현하여 수율 향상
-. VGF (Vertical (Gradient Freeze) 성장기술의 성장온도구배 및...

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