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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한양대학교 산학협력단 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2010-12 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201200005391 |
과제고유번호 | 1425051417 |
사업명 | 생산환경혁신기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-05-20 |
키워드 | 대면적 세정기.전해수.오존수.메가소닉.초절수세정.건조. |
기타성과
지적재산권(특허, 실용신안 등) : 1 건 (국내 출원 1건)
논문발표 : 1 건 ( SCI 급 1건)
기 타 : 8 건 (해외 학술발표 4건, 국내 학술발표 4건)
기대효과
대면적 기판 고속 세정 모듈 및 세정기 개발을 바탕으로 차세대 대면적 기판 세정기에 대한 방향을 제시하였으며, 대면적 기판을 이용한 생산 공정시 생산품에 대한 defect free 공정이 가능하게 됨
적용분야
대면적 기판을 이용하고 있는 FPD (flat panel display) 분야 뿐만 아니라 최근 친환경 에
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