초록 ▼

기타성과
지적재산권(특허, 실용신안 등) : 1 건 (국내 출원 1건)
논문발표 : 1 건 ( SCI 급 1건)
기 타 : 8 건 (해외 학술발표 4건, 국내 학술발표 4건)
기대효과
대면적 기판 고속 세정 모듈 및 세정기 개발을 바탕으로 차세대 대면적 기판 세정기에 대한 방향을 제시하였으며, 대면적 기판을 이용한 생산 공정시 생산품에 대한 defect free 공정이 가능하게 됨
적용분야
대면적 기판을 이용하고 있는 FPD (flat panel display) 분야 뿐만 아니라 최근 친환경 에

기타성과
지적재산권(특허, 실용신안 등) : 1 건 (국내 출원 1건)
논문발표 : 1 건 ( SCI 급 1건)
기 타 : 8 건 (해외 학술발표 4건, 국내 학술발표 4건)
기대효과
대면적 기판 고속 세정 모듈 및 세정기 개발을 바탕으로 차세대 대면적 기판 세정기에 대한 방향을 제시하였으며, 대면적 기판을 이용한 생산 공정시 생산품에 대한 defect free 공정이 가능하게 됨
적용분야
대면적 기판을 이용하고 있는 FPD (flat panel display) 분야 뿐만 아니라 최근 친환경 에너지원에 대한 관심 급증으로 산업의 규모가 급속하게 성장하고 있는 태양전지 분야까지 대부분의 전자 제품 제조분야에 본 기술을 이용하여 적용 가능함
변경사항
1차년도 기술개발 결과, 기존 계획서에 명시된 전해수에 대한 평가 결과가 세정액으로서의 특성에 미치지 못하는 것으로 확인되어 대체 기술로서 이류체 세정 모듈에 대한 개발 및 평가를 수행

목차 Contents

• 중소기업기술개발 지원사업 최종보고서 ... 1
• 제출문 ... 2
• 요약서(초록) ... 3
• 목차 ... 5
• 제 1 장 개발기술의 개요 ... 7
• 제 1 절 기술개발 정의 및 필요성 ... 7
• 1. 세정 기술의 정의 ... 7
• 2. 대면적 기판 세정 기술의 필요성 ... 13
• 제 2 절 개발기술의 현황 및 전망 ... 37
• 1. 대면적 기판 세정 기술의 트렌드 및 전망 ... 37
• 2. 대면적 기판 세정 장비의 국내외 시장 현황 ... 39
• 3. 글로벌 기술개발 및 사업화 동향 ... 43
• 제 2 장 개발목표 및 개발내용 ... 47
• 제 1 절 기술 개발목표 ... 47
• 1. 최종 목표 ... 47
• 2. 기관별 개발 목표 ... 47
• 3. 세부기술 개발내용 ... 48
• 4. 기술개발 추진현황 및 역할분담 ... 50
• 5. 기술개발 목표 변경 사항 ... 53
• 제 2 절 기술 개발내용 ... 54
• 1. 핵심 기술에 대한 문헌조사 ... 54
• 2. 세정 기술개발 및 평가결과 ... 71
• 3. Prototype 세정기 제작 및 평가결과 (뉴영엠테크, 한양대학교) ... 105
• 4. 대면적 기판용 고속 세정기 개발 및 세정효율 평가결과 ... 126
• 제 3 장 성과요약 및 기대효과 ... 133
• 제 1 절 핵심 기술개발 내용 요약 ... 133
• 1. 전해수 제조장치 개발 ... 133
• 2. 고농도 오존수 제조 장치 개발 ... 134
• 3. 1 MHz 급 메가소닉 모듈 개발 ... 137
• 4. 대면적 기판용 초고속 세정 모듈 및 세정기 개발 ... 138
• 제 2 절 주관· 참여기관의 협력방안 및 수행실적 ... 140
• 1. 주관기관 및 참여기관의 역량 ... 140
• 2. 주관·참여기관의 산학협력 및 주요실적 ... 143
• 제 3 절 기대효과 및 향후계획 ... 156
• 1. 기대효과 ... 156
• 2. 향후계획 ... 159
• 참고문헌 ... 162
• 부 록 ... 164
• 국내 특허 출원 1건 ... 165
• 산학협력 분기별 회의록 ... 179