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[국가R&D연구보고서] 증폭원리를 이용한 피드백 시스템이 포함된 나노스테이지 기술 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 (주)테크맥
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2011-07
과제시작연도 2010
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
연구관리전문기관 중소기업기술정보진흥원
Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs
등록번호 TRKO201200005963
과제고유번호 1425066222
사업명 중소기업상용화기술개발
DB 구축일자 2013-05-20
키워드 나노스테이지.피드백시스템.위치제어 시스템.마이크로 스테이지.증폭원리.초정밀 제어 시스템.피드백 스테이지.

초록 ▼

본 기술은 종래의 범용 변위 측정 장치를 이용한 초정밀 나노스테이지의 변위 측정방법의 문제점을 보완, 수정하기 위해서 초정밀 나노 스테이지 내부에 변위를 측정할 수 있는 장치를 초정밀 나노스테이지와 함께 설계하여 스테이지에서 직접 변위를 증폭하도록 하여 그 증폭된 변위를 측정함으로써 보다 높은 성능을 유지하기 위한 기술을 의미한다.
- 기존 나노스테이지 측정 방법의 문제점 분석 및 해결방안 제시
- 측정 특성에 적합한 스테이지 구조 설계
- 피드백 및 콘트롤을 위한 운영 S/W 개발
- 변위 증폭 피드백 시스템

목차 Contents

  • 중소기업기술개발지원사업 최종보고서 ... 1
  • 표지 ... 2
  • 제출문 ... 3
  • 요약서(초록) ... 4
  • 목차 ... 5
  • 제 1 장 개발기술의 개요 ... 6
  • 제 1 절 대상기술의 특성 및 범위 ... 6
  • 제 2 절 개발 필요성 ... 7
  • 제 2 장 개발목표 및 개발내용 ... 9
  • 제 1 절 기술개발 목표 ... 9
  • 제 2 절 세부 개발내용 및 방법 ... 11
  • 제 3 절 개발 결과 ... 35
  • 제 3 장 성과요약 및 기대효과 ... 43
  • 제 1 절 성과요약 ... 43
  • 제 2 절 기대효과 ... 45

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