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NTIS 바로가기주관연구기관 | 아주대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 최윤호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2008-02 |
과제시작연도 | 2007 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201100013075 |
과제고유번호 | 1425045600 |
사업명 | 산학연 공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
① 원천기술 사업화를 위한 나노스테이지 모델 다변화: 5개 모델 이상 개발
② 각 나노스테이지 모델별 정밀도, 제어대역, 구동거리, 최대하중 확보
③ 시작품 나노스테이지 개발, 성능 시험 및 평가
2. 개발내용 및 결과
① Flexure mechanism 중 Leaf spring에 관한 최적화 설계 방법 개선
② ANSYS를 이용한 유한 요소 해석 실시 : 고유 진동수 해석 방법
③ 변위 확대 기구를 활용한 모델 다변화 완료
3. 사업성과
○ 기술적 성과
- 진동에
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