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불소섬유를 이용한 반도체 장비용 부식성 가스 여과 필터 제조기술 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 (주)아스플로
연구책임자 강두홍
참여연구자 서동문 , 한용성 , 성기훈 , 변우철 , 김동섭 , 김용도 , 황준식 , 김윤식
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2010-08
과제시작연도 2009
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
등록번호 TRKO201200006008
과제고유번호 1425055649
사업명 기업협동형기술개발
DB 구축일자 2019-11-16
키워드 가스필터.멤브레인.테프론.극청정.하우징.

초록 ▼

나노소재의 우수한 기능과 무한한 가능성이 널리 알려진 후 수많은 연구가 이루어지고 있으며, 고부가가치를 가지는 재료설계를 통한 산업수요 창출이 주요한 과제로 대두되고 있다.
소재 내에 나노크기의 기공을 갖는 나노기공 소재는 전극물질, 담체, 환경정화용 필터 및 멤브레인(membrane) 등 다양한 분야에 산업화가 가능하다. 특히 반도체 산업은 유독성 가스나 액체 또는 인화성 물질 등과 같이 인체 및 환경에 유해한 유체가 외부로 누출되어서는 안되는 물질을 취급하는 산업 시설의 대표적인 케이스로서 만약 누출이 발생한다면 매우 커다

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 중소기업기술개발 지원사업 최종보고서 ... 2
  • 제출문 ... 3
  • 요약서(초록) ... 4
  • 목차 ... 5
  • 제 1 장 서 론 ... 6
  • 제 1 절 개발대상기술의 중요성 ... 6
  • 제 2 절 국내외 관련기술의 현황 ... 7
  • 제 3 절 기술 개발시 예상되는 파급효과 및 활용방안 ... 7
  • 제 2 장 본 론 ... 9
  • 제 1 절 기술개발 목표 및 세부내용 ... 9
  • 제 2 절 세부개발 내용 및 방법 ... 13
  • 1. 1차년도 ... 13
  • 2. 2차년도 ... 17
  • 제 3 절 실험결과 및 첨부자료 ... 21
  • 1. 1차년도 (소유량 Filter) ... 21
  • 2. 2차년도 (중유량 Filter) ... 60
  • 제 3 장 결 론 ... 76
  • 제 1 절 계획대비 실적 및 성과 ... 76

표/그림 (66)

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참고문헌 (25)

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