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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)월드비젼 |
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연구책임자 | 박재범 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-08 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가원 |
등록번호 | TRKO201200006316 |
과제고유번호 | 1425050052 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
키워드 | 박막 증착.마그네트론 스퍼터링.타겟.자기장.플라즈마.에로죤.균일도. |
1. 대상기술(제품)의 개요
LCD, 반도체 및 전자제품의 부품을 제작하는 데 마그네트론 스퍼트링법에 의한 박막제작공정은 필수적이며 제품의 고급화의 요구에 따라 박막특성의 균일성이 요구된다. 또한 박막태양전지의 제조에 있어서도 마그네트론 스퍼터링법에 의한 박막 제조공정은 주요 핵심공정이 되고 있다. 최근에는 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 박막코팅기술이 핸드폰, 가전제품 그리고 자동차등에 적용되고 있으며 향후 마그네트론 스퍼터링 기술을 이용한 응용 분야는 점점 확대될 것으로 예상된다. 마그네트론 스퍼터링 공정에서 주요 품질 관리
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