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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)경인이엔지 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2010-08 |
과제시작연도 | 2009 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201200006317 |
과제고유번호 | 1425054747 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2013-05-20 |
키워드 | 국소배기장치.클린룸.Speed Controller.Monitoring System. |
1. 기술개발목표
제품(반도체, LCD, 기타)別, 청정도別R.F.U(Return Fan Unit) System 최적설계 및 제품 개발
2. 기술개발의 목적 및 중요성
21세기 들어 공기정화 및 공기청정도가 필요한 모든 산업분야에서 청정실(클린룸)은 필수요소로 자리 잡았다. 특히 반도체 및 LCD 제조분야에서 클린룸 기술은 생산경쟁력인 수율과 불가분의 관계라는 점에서 아무리 강조해도 지나치지 않다. 단순히 초청정 공간의 구성이라는 개념에서 벗어나 입자 외의 광범위한 오염요인의 제어가 필요하게 되었다.
이에 대한
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