$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

10 nm급 측정 원천기술 개발
Development of fundamental technology for 10 nm scale measurement 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
연구책임자 이학주
참여연구자 최병익 , 우창수 , 한승우 , 현승민 , 김재현 , 장원석 , 박현성 , 김경식 , 장봉균 , 최현주 , 송선아 , 이희정 , 이상주 , 박정민 , 배종성 , 김규현 , 전성재 , 안현균 , 김신우 , 김상민 , 김재원 , Mag-isa, Alexsander , 황보윤
보고서유형3단계보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2012-05
과제시작연도 2011
주관부처 교육과학기술부
사업 관리 기관 한국연구재단
등록번호 TRKO201200007260
과제고유번호 1345162556
사업명 21세기프론티어연구개발
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 나노 소재.측정 기술.기계적 물성.복합물성.해석-측정.nano material.measurement technique.mechanical properties.multi-physics properties.simulation-measurement.

초록 ▼

◎ Sub-30 nm급 나노 패턴 형상 측정 기술 개발
○ 300 mm 웨이퍼 서브 30 nm급 패턴의 고속 형상측정 기술 개발
○ X-선 반사율 및 소각산란을 이용한 나노패턴의 평가기술 개발
◎ Sub-30 nm급 나노 공정용 소재의 기계적 물성 측정 기술 개발
○ 나노프로브이용 나노패턴 손상부 특성측정 및 복구기술 개발
○ 나노압입시험을 이용한 나노 소재의 기계적 물성을 측정 및 잔류응력 분석기법 개발
◎ 나노 공정용 소재의 복합물리 측정 기술 개발
○ 나노소재의 전자기-역학 복합물성 측정

Abstract ▼

○ Development of nano pattern shape measurement at Sub-30 nm scale
- Development of high speed shape measurement at sub 30nm scale in 300 mm wafer
- Evaluation technology of nano pattern using X-ray reflection and scattering
- Development of mechanical property measurement method for engine

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제출문 ... 2
  • 보고서 요약서 ... 4
  • 요약문 ... 6
  • SUMMARY ... 9
  • 목차 ... 14
  • 제1장 연구개발과제의 개요 ... 16
  • 제2장 국내외 기술개발 현황 ... 18
  • 제1절 외국의 경우 ... 18
  • 제2절 국내의 경우 ... 19
  • 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 26
  • 제1절 나노 패턴 형상 측정 기술 개발 ... 26
  • 1. 수직형 MEMS 프로브 기술 개발 ... 26
  • 2. Cobra형 MEMS 프로브 개발 ... 32
  • 3. Pogo 핀의 고주파 전달 특성에 관한 연구 ... 45
  • 4. MEMS 프로브 커넥터 시스템의 설계 및 누화 특성 분석 ... 56
  • 5. In-Situ 잔류 두께 측정기술 개발 및 적용 ... 68
  • 제2절 나노 공정용 소재의 기계적 물성 측정기술 개발 ... 74
  • 1. 나노소재 기계적 물성 측정을 위한 시험편 제작기술 및 측정시스템 개발 ... 74
  • 2. 위상천이기법을 이용한 AFM 모아레 방법의 고도화 ... 82
  • 3. 나노물질을 이용한 변형률 측정법 개발 ... 89
  • 4. 원자현미경 간섭계 기술 개발 ... 96
  • 5. CD 변화에 따른 기계적 특성 평가 기술 개발 ... 102
  • 6. 환경조건하에서 나노공정용 소재의 기계적 물성 측정기법 개발 ... 103
  • 7. Sub-30 nm급 공정용 소재 피로물성 및 환경영향 측정 기술 ... 108
  • 8. 공정용 소재 피로물성 측정 및 평가기술 개발 ... 127
  • 9. Sub-30 nm급 공정소재에 대한 기계적 물성과 환경영향측정법 기술개발 ... 145
  • 10. 고주파수 피로시험기 이용 신뢰성 평가 기술 ... 151
  • 제3절 나노 공정용 소재의 복합물리 측정 기술 개발 ... 161
  • 1. 박막 소재의 전기-역학 복합물성 측정 ... 161
  • 2. 나노소재/유연기판 복합재의 전기-역학 복합물성측정 ... 166
  • 3. 나노소재의 광전특성 측정 시스템 기술 ... 177
  • 4. NIL 공정에서의 점착력 및 마찰력 측정 기술 개발 ... 189
  • 5. 공정 소재 물성 측정 연계 응용 기술 ... 213
  • 6. 그래핀 기반 나노 공정용 점착 방지 기술 개발 ... 226
  • 제4절 국제표준 및 마이크로/나노 DB 기술 개발 ... 235
  • 1. 나노 역학 측정의 국제 표준 기술 개발 ... 235
  • 2. 마이크로 나노 소재의 데이터베이스 시스템 개발 ... 238
  • 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 242
  • 제1절 목표달성도 ... 242
  • 제2절 관련분야에의 기여도 ... 243
  • 제5장 연구개발결과의 활용계획 ... 244
  • 제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술 정보 ... 246
  • 제7장 연구시설 및 장비 현황 ... 252
  • 부록 협동연구기관 최종보고서:나노 패턴손상 및 복합물성 측정기술 개발 ... 256
  • 표지 ... 257
  • 제출문 ... 258
  • 요약문 ... 259
  • SUMMARY ... 262
  • 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 272
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 280
  • 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 288
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 356
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 358
  • 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 362
  • 제 7 장 연구시설·장비 현황 ... 366
  • 제 8 장 참고문헌 ... 368

표/그림 (285)

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로