초록 ▼

□ 50 nm 급 공정용 소재의 기계적 물성 측정/측정 평가 기술
? 나노기둥압축시험법을 이용한 60 nm급 나노임프린트용 소재의 기계적 물성 측정
? 대칭형 AFM 캔틸레버와 4 점 굽힘 시험을 이용한 NIL용 폴리머의 접착특성 평가
? Bulge 시험기 제작 및 다층 박막의 기계적 물성 측정
공진법을 이용한 박막 물성 시험기 제작 및 급 박막 물성 측정 30 nm ?
? On-chip-tester 설계, 공정 개발 및 시제품제작
? NIL 공정용 점착증가막 및 점착방지막에 따른 점착력 평가

□ 50 nm 급 공정용 소재의 기계적 물성 측정/측정 평가 기술
? 나노기둥압축시험법을 이용한 60 nm급 나노임프린트용 소재의 기계적 물성 측정
? 대칭형 AFM 캔틸레버와 4 점 굽힘 시험을 이용한 NIL용 폴리머의 접착특성 평가
? Bulge 시험기 제작 및 다층 박막의 기계적 물성 측정
공진법을 이용한 박막 물성 시험기 제작 및 급 박막 물성 측정 30 nm ?
? On-chip-tester 설계, 공정 개발 및 시제품제작
? NIL 공정용 점착증가막 및 점착방지막에 따른 점착력 평가
을 이용한 급 박막의 탄성계수 측정 Wrinkle sub 50 nm ?
? 분자동역학 프로그램을 이용한 나노임프린트 공정의 점착 현상 해석
? 박막 고온 물성 장치 구성 및 물성평가
나노 튜브의 인장특성 평가를 위한 하중 측정기술 개발 ?
? Knoop 압자를 이용한 박막의 이방성 및 잔류응력 평가
□ 미소 인장/피로 시험기 및 나노 Probe 응용 물성 측정 시험기 핵심 기술
? 고주파수 및 하중제어 박막 인장/피로시험기 제품화
? 실시간 변위/변형률 측정이 가능한 VIT(Visual Image Tracing)시스템 장치 개발
? 형상 및 기계적 물성 측정을 위한 가변 강성 AFM Probe 설계 및 제작
? 국제표준규격 (IEC) 3 종 제안
? 띠 굽힘 전용 시험기 시제품 제작
□ 나노 공정용 소재의 물리적 물성 측정 및 손상 평가 기술
? 고속 나노 광측정 장비 개발
? 나노 구조물의 광물성 측정/평가 기술 및 표준화 개발
? 나노 공정용 소재의 기본 역학물성 평가기법 개발 및 박막 응력 측정
? 나노 공정용 소재의 결정성 평가기술 개발
? 나노 튜브의 인장특성 평가를 위한 하중 측정기술 개발
? 나노공정용 박막소재의 잔류응력 측정을 위한 평가알고리즘 개발과 실험 및 FEM
시뮬레이션을 통한 소재 이방성 정량화
□ In-line 공정 모니터링에 적용 가능한 측정 평가 기술
? 수직형 MEMS 프로브 설계/제작 및 특성/신뢰성 평가
캔틸레버 개발 및 물성 형상 측정 Higher Harmonic SPM / ?
? 나노인덴테이션을 이용한 나노 임프린트된 폴리머 박막의 잔류두께 측정
? 고속 타원계측기술과 원자현미경을 이용한 초고속 대면적 Hybrid 측정개념설계
? 고속 Micro-focus Ellipsometer 원천 특허 및 주요 장치 개발

Abstract ▼

o Development of measurement/evaluation technique and core technology
to produce measurement system for nano materials in 50nm level processing
o Mechanical properties of thin films and nano materials are essential to design
nano device and optimum process conditions
o There are increasi

o Development of measurement/evaluation technique and core technology
to produce measurement system for nano materials in 50nm level processing
o Mechanical properties of thin films and nano materials are essential to design
nano device and optimum process conditions
o There are increasing demands for fusion technology of materials, mechanics and
electronics to develop nano material and devices. The reliable evaluation methods
of nano materials are key technologies to develop various nano related products.
□ Mechanical properties measurement/evaluation techniques for 50nm level processing materials

목차 Contents

• 표지 ...1
• 제출문 ...2
• 보고서 초록 ...4
• 요약문 ...6
• SUMMARY...8
• CONTENTS...12
• 목차 ...14
• 제1장 연구개발과제의 개요 ...16
• 제1절 연구개발의 배경 및 목적 ...16
• 제2절 연구개발의 필요성 ...17
• 제3절 연구개발의 목표 ...20
• 제2장 국내외 기술개발 현황 ...24
• 제1절 기계적 물성 및 형상 측정 ...24
• 제2절 점착 특성 측정 ...28
• 제3절 물리적 물성 측정 ...31
• 제4절 In-line 모니터링 기술 ...34
• 제5절 표준화 기술 ...36
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ...38
• 제1절 나노기둥압축시험법을 이용한 60 nm급 나노임프린트용소재의 기계적 물성 측정 ...38
• 제2절 대칭형 AFM 캔틸레버를 이용한 나노 스케일의 점착력 특성 연구 ...41
• 제3절 Bulge 시험기 제작 및 Al 박막의 기계적 물성 측정 ...46
• 제4절 공진법을 이용한 박막 물성 시험기 제작 및 30 nm급 박막 물성 측정 ...49
• 제5절 On-chip-tester 설계 및 시제품제작 ...54
• 제6절 Wrinkle을 이용한 sub 50nm 박막의 기계적 물성 평가 ...60
• 제7절 4 점 굽힘 시험을 이용한 NIL용 폴리머의 접착특성 평가 ...63
• 제8절 AFM 모아레를 이용한 나노 구조물의 고 분해능 변형 측정기법 개발 ...67
• 제9절 나노임프린트 공정에서 공정조건의 변화에 따른 점착현상 해석...71
• 제10절 박막 고온 물성 시험장치 구성 및 물성평가 ...76
• 제11절 폴리이미드 모재 위에 증착된 구리 박막의 기계적 물성과 전기저항 측정 ...83
• 제12절 마이크로 인장 시험에서 Au 박막의 기계적-전기적 복합물성의 측정 ...85
• 제13절 UV-NIL용 소재의 속도의존적인 점착력 측정 ...91
• 제14절 금 박막의 인장 물성에 미치는 두께와 미세조직의 영향 ...94
• 제15절 미소 인장/피로 시험기 및 나노 Probe 응용 물성 측정 ...101
• 제16절 나노 공정용 소재의 물리적 물성 측정 및 손상 평가 기술 ...122
• 제17절 In-line 공정 모니터링에 적용 가능한 측정 평가 기술 ...156
• 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ...172
• 제1절 목표달성도 ...172
• 제2절 관련 분야 기여도 ...174
• 제5장 연구개발결과의 활용계획 ...176
• 제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ...178
• 제7장 참고문헌 ...188