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NTIS 바로가기주관연구기관 | 연세대학교 Yonsei University |
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연구책임자 | 강신일 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-05 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201200007315 |
과제고유번호 | 1345162553 |
사업명 | 21세기프론티어연구개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 나노 스탬프.나노 사출성형.나노 복제.나노 패터닝.금속 스탬프.stamp.nano injection molding.nano replication.nano patterning.metallic stamp. |
- 초정밀 10nm 패턴 및 신개념의 대면적 저가 나노 마스터 제작 기술 개발
- PRC 전주도금 기술 개발을 통한 고품위 금속 나노스탬프 제작 기술 개발
- 실용화를 위한 고세장비 하이브리드 구조물 및 대면적 나노패턴성형기술 개발
- 나노패턴 실용화 및 기술이전 (평탄화 패턴드 미디어, Bio chip, AR window, LED 조명, Solar cell)
- Development of 10nm, 30nm and 100-200nm scale high aspect ratio nano pattern fabrication technologies (AAO pattern fabrication, Nano pattern fabrication using Ag nano particle, E-beam recording, 10nm pattern fabrication by FIB)
- Development of high precision nano stamper fabrication and nano i
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