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NTIS 바로가기주관연구기관 | 금오공과대학교 산학협력단 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-05 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
연구관리전문기관 | 한국산학연협회 Korea Association of University, Research Institute and Industry |
등록번호 | TRKO201200008317 |
과제고유번호 | 1425068184 |
사업명 | 산학연협력기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-05-20 |
1. 최종목표
○ 4~6세대 LCD검사/수리 장비(Laser Repair) Panel 이미지를 구현하는 FOV(Field of View)의 확장을 통하여 8세대 검사장비 Spec에 준한 Module개발
○ 검수자의 Panel 검사영역 4배 확대
○ 공정 수율 향상 및 Defect Skip 오류 방지를 통한 4~6세대 장비 효율성 제고 및 Upgrade를 통한 신규 장비 구매 원가 절감
2. 개발내용 및 결과
○ 시뮬레이션을 통한 FOV Fixture 최적설계 → 진동제어 효과 (75% 소멸)
○ LC
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