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NTIS 바로가기주관연구기관 | 순천향대학교 SoonChunHyang University |
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연구책임자 | 이호년 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-06 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201300010365 |
과제고유번호 | 1345154493 |
사업명 | 신진연구지원사업 |
DB 구축일자 | 2013-06-29 |
증착 공정 연구
본 연구의 산화물반도체박막 성막을 위하여 두 종류의 증착 장비에 대한 하드웨어 최적화 및 증착공정 연구를 시행 하였다. FTS (Facing Target Sputtering) 시스템 및 진공열증착 시스템의 하드웨어 및 공정조건을 최적화 하였다. FTS는 스퍼터링 조건을 수정하여 2
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