초록 ▼

Ⅲ. 연구개발의 내용 및 범위
■ 기반표준 산업응용기술 분야
•MEMS 기술을 활용한 열량형 질량유량계 센서 개발
- 유량 범위와 정확도가 개선된 열량형 질량 유량계 센서 설계
- 센서 제작을 위한 표준 MEMS 제작 공정 개발
- 센서 성능 평가를 위한 유량 특성 시험 수행
•미소적층 구조물 3D 형상 측정기술개발
- 고속 콘포컬 현미경 개발 (형상 반복도 < 1 ㎛)
- TSV 형상 측정 기술 개발 (공간 분해능 : 1 ㎛)
•위성카메라 성능평가용 적분구 광원 개발
- 위성카

Ⅲ. 연구개발의 내용 및 범위
■ 기반표준 산업응용기술 분야
•MEMS 기술을 활용한 열량형 질량유량계 센서 개발
- 유량 범위와 정확도가 개선된 열량형 질량 유량계 센서 설계
- 센서 제작을 위한 표준 MEMS 제작 공정 개발
- 센서 성능 평가를 위한 유량 특성 시험 수행
•미소적층 구조물 3D 형상 측정기술개발
- 고속 콘포컬 현미경 개발 (형상 반복도 < 1 ㎛)
- TSV 형상 측정 기술 개발 (공간 분해능 : 1 ㎛)
•위성카메라 성능평가용 적분구 광원 개발
- 위성카메라의 분광 복사휘도 감응도 특성 시험 평가용 적분구 광원 개발
- 적분구 광원: 직경 50 ㎝, 구경 20.0 ㎝, 재질: PTFE
- 적분구 광원의 분광 복사휘도 및 휘도 분포균일도 측정 장치 개발
•압전재료를 이용한 동압센서 개발
- 최대 측정 범위 100 MPa, 감도 측정 오차 ± 2% 이내의 동압센서 고유모델 개발
•고온 압력센서 모듈 제작 및 기초성능 시험
- 구조해석 프로그램을 이용한 고온 압력센서 감지부 설계
- SiC 기반 고온 압력센서 감지부 제작을 위한 미소 공정 설계
- 고온 압력센서 팩키징 설계 및 제작
- 상온 성능평가 (감도/선형성/반복성)
•중전기기 산업체의 현장용 변성기 시스템 평가 기술
- CT 및 PT 부담 평가용 이동용 박스 제작
- CT 및 PT 부담의 현장 평가 기술
- 임의의 부담에서 PT 오차 계산 기술 및 유효성 검증
•전력선 기반 시각정보방송 송수신 시스템 개발
- 최적의 PLB 송 수신 플레트폼 연구
- 시연용 PLB 송 수신 시스템 제작 및 특성평가
■ 기반표준 국방응용기술 분야
•함정의 자기정숙화 기술 개발
- 국가표준에 소급된 함정의 소자/탈자 성능평가 기술개발(1 nT/h) 및 소자 기초 기술 개발
•전자기펄스(EMP) 센서 교정시스템 개발
- 시간영역 안테나측정시설 개선 및 성능평가
- D-dot sensor 교정시스템 개발(∼3 GHz, 불확도: 1.0 dB)
• 레이저를 이용한 수중 이동체 정밀 탐색
- 정밀 유동장 측정을 위한 광학 시스템 설계 (도플러 천이량 < 10 MHz)
- 유동 묘사를 위한 유동 시스템 설계 및 시뮬레이션 수행
- 광-유체 통합 실험 시스템 구현 (유속: 1 m/s, Re>10,000)
•원자중력계 개발
- 냉각된 원자를 이용해 원자 간섭계를 구성하고 그 간섭계를 사용하여 2x10-7 @1s 의 분해능을 가지는 중력계 개발
■ 질량신정의 실현 설계 분야
- 국외 NMI 와트저울 현황 및 장단점 분석
- 와트저울 사양 검토 및 자석부, 구동부, 광학부 기초 설계

Abstract ▼

Ⅲ. Contents and Scope
■ Application technologies for industry
•Development of MEMS based thermal mass flowmeter
- Design thermal mass flowmeter sensor with wide flow range and high sensitivity
- Development of standard fabrication process for MEMS sensor
- Experiment flowrate-characte

Ⅲ. Contents and Scope
■ Application technologies for industry
•Development of MEMS based thermal mass flowmeter
- Design thermal mass flowmeter sensor with wide flow range and high sensitivity
- Development of standard fabrication process for MEMS sensor
- Experiment flowrate-characteristics for performance evaluation of developed flowmeter sensors
•3D profile metrology for microscopic structures
- High speed confocal microscope (repeatability in profile measurement < 1 ㎛)
- Profile measurement of a TSV (spatial resolution: 1 ㎛)
•Development of the integrating sphere source for calibration of cameras used in space
- Development of the PTFE integrating sphere source for the calibration of spectral radiance responsivity of cameras used in space
- PTFE integrating sphere: 50 ㎝ in diameter with an aperture of 20 ㎝ diameter
- Development of the measurement system for characterization of the integrating sphere source
•Development of dynamic pressure sensors using piezoelectric materials
- Measurement range < 100 MPa,
- Measurement error < ± 2 %
•Development and performance evaluation of a high temperature pressure sensor
- Design of a sensing cell based on FEM numerical analysis results
- Microelectronic fabrication process development for the SiC sensing cell
- Development of a sensor packaging
- Preliminary performance tests at room temperature (sensitivity/linearity/repeatability)
•Evaluation technology of instrument transformer system on site for heavy electric industry
- Fabrication of travelling box containing shunt resistor for evaluation of current transformer burden
- Fabrication of travelling box containing resistor with negligible reactive component for evaluation of potential transformer burden
- Evaluation of current transformer burden using the shunt resistor at both 5 A and 1 A
- Evaluation of potential transformer burden using the resistor at 110 V
- PT error calculation technology at arbitrary burden and Verification
•Development of transceiver system for power line based time broadcasting
- Study on an optimal transceiver platform for PLB
- Implement and characteristic evaluation of a demonstration PLB transceiver system
■ Application technologies for defense
•Development of magnetic silencing techniques for naval vessels
- Development of vessel’s degaussing and deperm performance evaluation techniques traceable to the national standards and basic degaussing techniques
•Development of EMP sensor calibration system
- Improvement and evaluation of the time domain antenna range
- Development of d-dot sensor calibration system (∼3 GHz, uncertainty: 1.0 dB)
•Precision searching of submerged objects using a laser system
- Design of the optical system for flow measurement (Doppler shift: < 10 MHz)
- Design and numerical simulation of a water flow system
- Realization of a optics-fluid mechanics combined system (Velocity: 1 m/s, Re>10,000)
•Development of an atomic gravimeter
- Development of a gravimeter based on an atomic interference with resolution 2x10-7 @1s
■ watt balance
- By case study of watt balances being developed in other NMIs, We determined specifications, strategy, and basic designs for the KRISS watt balance.

목차 Contents

• 표 지 ... 1
• 제 출 문 ... 3
• 보고서 요약서 ... 5
• 요 약 문 ... 7
• SUMMARY ... 14
• CONTENTS ... 22
• 목 차 ... 26
• 제 1 장 서 론 ... 29
• 제 2 장 MEMS 기술을 활용한 열량형 질량유량계 센서 개발 ... 32
• 제 1 절 연구개발의 개요 ... 32
• 제 2 절 국내외 기술 개발 현황 ... 33
• 제 3 절 연구개발 수행 내용 및 결과 ... 37
• 제 4 절 연구목표 달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 46
• 제 5 절 연구개발의 활용계획 ... 47
• 제 3 장 미소 적층 구조물 3D 형상 측정기술개발 ... 49
• 제 1 절 연구개발의 개요 ... 49
• 제 2 절 국내외 기술 개발 현황 ... 51
• 제 3 절 연구개발 수행 내용 및 결과 ... 56
• 제 4 절 연구목표 달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 70
• 제 5 절 연구개발의 활용계획 ... 71
• 제 6 절 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 71
• 제 4 장 위성카메라 성능평가용 적분구 광원 개발 ... 72
• 제 1 절 연구개발의 개요 ... 72
• 제 2 절 국내외 기술 개발 현황 ... 72
• 제 3 절 연구개발 수행 내용 및 결과 ... 73
• 제 4 절 연구목표 달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 83
• 제 5 절 연구개발의 활용계획 ... 84
• 제 5 장 압전재료를 이용한 동압센서 개발 ... 85
• 제 1 절 연구개발의 개요 ... 85
• 제 2 절 국내외 기술 개발 현황 ... 86
• 제 3 절 연구개발 수행 내용 및 결과 ... 87
• 제 4 절 연구목표 달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 96
• 제 5 절 연구개발의 활용계획 ... 96
• 제 6 절 연구개발과정에서 수집한 과학기술정보 ... 96
• 제 6 장 고온 압력센서 모듈 제작 및 기초성능 시험 ... 98
• 제 1 절 연구개발의 개요 ... 98
• 제 2 절 국내외 기술개발 현황 ... 98
• 제 3 절 연구개발 수행 내용 및 결과 ... 99
• 제 4 절 연구목표 달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 107
• 제 5 절 연구개발 활용계획 ... 108
• 제 6 절 연구개발 과정에서 수집한 해외 과학기술 정보 ... 108
• 제 7 장 중전기기 산업체의 현장용 변성기 시스템 평가 기술 ... 109
• 제 1 절 연구개발의 개요 ... 109
• 제 2 절 국내외 기술 개발 현황 ... 109
• 제 3 절 연구개발 수행 내용 및 결과 ... 110
• 제 4 절 연구목표 달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 125
• 제 5 절 연구개발의 활용계획 ... 125
• 제 6 절 연구개발 과정에서 수집한 과학기술 정보 ... 125
• 제 8 장 전력선기반 시각정보방송 송수신시스템 개발 ... 127
• 제 1 절 연구개발의 개요 ... 127
• 제 2 절 국내외 기술개발 현황 ... 127
• 제 3 절 연구개발 수행 내용 및 결과 ... 128
• 제 4 절 연구목표 달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 140
• 제 5 절 연구개발 활용계획 ... 142
• 제 6 절 연구개발 과정에서 수집한 해외 과학기술 정보 ... 143
• 제 9 장 함정의 자기정숙화 기술 개발 ... 149
• 제 1 절 연구개발의 개요 ... 149
• 제 2 절 국내외 기술 개발 현황 ... 151
• 제 3 절 연구개발 수행 내용 및 결과 ... 159
• 제 4 절 연구목표 달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 168
• 제 5 절 연구개발 활용계획 ... 169
• 제 6 절 연구개발 과정에서 수집한 해외 과학기술 정보 ... 170
• 제 10 장 전자기펄스(EMP) 센서 교정시스템 개발 ... 173
• 제 1 절 연구개발의 개요 ... 173
• 제 2 절 국내외 기술개발 현황 ... 174
• 제 3 절 연구개발 수행 내용 및 결과 ... 175
• 제 4 절 연구목표 달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 189
• 제 5 절 연구개발의 활용계획 ... 189
• 제 11 장 레이저를 이용한 수중 이동체 정밀 탐색 ... 191
• 제 1 절 연구개발의 개요 ... 191
• 제 2 절 국내외 기술 개발 현황 ... 193
• 제 3 절 연구개발 수행 내용 및 결과 ... 199
• 제 4 절 연구목표 달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 205
• 제 5 절 연구개발의 활용계획 ... 206
• 제 6 절 연구개발과정에서 수집한 과학기술정보 ... 206
• 제 12 장 원자 간섭계를 이용한 중력계 개발 ... 207
• 제 1 절 연구개발의 개요 ... 207
• 제 2 절 국내외 기술 개발 현황 ... 211
• 제 3 절 연구개발 수행 내용 및 결과 ... 213
• 제 4 절 연구목표 달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 222
• 제 5 절 연구개발의 활용계획 ... 222
• 제 13 장 질량신정의 실현 설계 ... 223
• 제 1 절 연구개발의 개요 ... 223
• 제 2 절 국내외 기술 개발 현황 ... 223
• 제 3 절 연구개발 수행 내용 및 결과 ... 226
• 제 4 절 연구목표 달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 238
• 제 5 절 연구개발의 활용계획 ... 239
• 제 6 절 연구개발과정에서 수집한 과학기술정보 ... 239