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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
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보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2010-08 |
주관부처 | 지식경제부 Ministry of Knowledge Economy |
등록번호 | TRKO201300015677 |
DB 구축일자 | 2013-08-26 |
키워드 | 차세대 반도체.분석.나노재료.나노 소자.분석 이슈.TEM.EELS.FIB.DRAM. |
- 기구축된 Super TEM과 FIB를 활용하면서 특수 시편에 대한 수요가 발생하였음. 즉, 장비의 첨단 기능과 특이 시료의 분석이 함께 진행될 때 비로소 차세대 반도체에 비교될 수 있는 수준의 최첨단 분석이 진행될 수 있었기 때문임. 기업체와 연구계에서 최근 연구 재료들은대부분 온도와 대기중에 노출될 때 대단히 민감하여 본래의 물성을 상실하기 때문에 nm 또는 sub nm 영역의
디자인을 수행하는 것이 불가능함. 따라서 Cryo FIB stage system (향후 Cryo FIB로 기술함) 및 Double tilt vac
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