초록 ▼

- 기구축된 Super TEM과 FIB를 활용하면서 특수 시편에 대한 수요가 발생하였음. 즉, 장비의 첨단 기능과 특이 시료의 분석이 함께 진행될 때 비로소 차세대 반도체에 비교될 수 있는 수준의 최첨단 분석이 진행될 수 있었기 때문임. 기업체와 연구계에서 최근 연구 재료들은대부분 온도와 대기중에 노출될 때 대단히 민감하여 본래의 물성을 상실하기 때문에 nm 또는 sub nm 영역의
디자인을 수행하는 것이 불가능함. 따라서 Cryo FIB stage system (향후 Cryo FIB로 기술함) 및 Double tilt vac

- 기구축된 Super TEM과 FIB를 활용하면서 특수 시편에 대한 수요가 발생하였음. 즉, 장비의 첨단 기능과 특이 시료의 분석이 함께 진행될 때 비로소 차세대 반도체에 비교될 수 있는 수준의 최첨단 분석이 진행될 수 있었기 때문임. 기업체와 연구계에서 최근 연구 재료들은대부분 온도와 대기중에 노출될 때 대단히 민감하여 본래의 물성을 상실하기 때문에 nm 또는 sub nm 영역의
디자인을 수행하는 것이 불가능함. 따라서 Cryo FIB stage system (향후 Cryo FIB로 기술함) 및 Double tilt vacuum transfer holder (in-situ TEM 홀더 기술함)와 같이 저온에서 전자빔을 조사 할 수 있는 시스템과 그리고 대기를 차단할 수 있는 특수 홀더를 구축하게 되었음. 이러한 장비의 도입은 장비를 필요로 하는 연구자들이 직접 구매하여 본 과제에 기증하였음.
- 극미세 영역에서의 반도체 소재 및 소자의 분석 시 전자현미경의 입사된 빔을 사용하면 시편에 치명적인 손상을 주게 되는 경우가 존재함. 이 때 시편을 극저온으로 내려 분석하면 고 가속된 빔의 에너지를 분산시킬 수 있음. 또한 현재 세계적으로 많은 연구가 시도되고 있는 생체 재료분야에 대한 분석은 아직 광학 현미경 수준에 머물러 있으므로 FIB와 같은 파워풀한 분석 장비를 이용하면 생체 재료 분야의 중요한 전환점이 될 것임. 하지만 생체 시편을 FIB에 적용하기 힘든 최대 단점은 고 진공, 고 가속 빔을 사용하여 생체 시편에 치명적인 손상을 준다는 것임. 따라서 이와 같은 단점을 극복하기 위하여 시편 냉각 장치인 Cryo stage 장착이 필수적임.
- 대부분의 배터리에 사용되는 재료는 매우 air sensitive함. 기존의 TEM 시편 준비 방법으로는 산화가 잘 일어나는 air sensitive한 샘플의 경우, 재료 본연의 특성을 유지한 체 시편을 준비하고 관찰하기가 어려웠음. 하지만 double tilt vacuum transfer holder를 사용하여 glove box 안에서 시편을 준비하면 재료의 산화 없이 TEM 시편 준비 및 관찰이 가능해질 것으로 예상됨.
- 차세대 반도체 시장에서의 난제의 해결을 통한 원천 기술의 확보를 위해 cryo stage system 구축과 double tilt vacuum transfer holder 구매는 필수적임.

목차 Contents

• 연차보고서 ... 1
• I. 해당 연도 추진 현황 ... 2
• I-1 기술개발 추진 일정 ... 2
• I-2 해당 연도 추진 실적 ... 8
• II. 기술개발결과 ... 46
• II-1 사업성과 보고 ... 46
• III. 결론 및 차년도 계획 ... 72
• (1) 자립운영을 위한 실적 및 향후방안 ... 72
• (2) 동사업의 파급효과 및 해당분야 산업발전 기여도 ... 73
• 부록 ... 74
• 1. Double tilt vacuum transfer holder spec ... 74
• 2. Cryo FIB stage system spec ... 74
• 3. 장비전문가 양성을 위한 FIB 교육 자료 ... 75
• 4. 장비전문가 양성을 위한 SuperTEM 교육 자료 ... 79
• Ⅳ. 사업비 사용현황 ... 82
• Ⅴ. 기업 재무건전성 현황 ... 83