초록 ▼

1. (최종년도, 당해년도) 목표
차세대 반도체 소자, 소재 및 장비 개발에 요구되는 최첨단 극미세 측정/분석 기술을 지원하기 위한 최상의 측정/분석 장비 및 전문가 구축
2. 당해 기반구축 목적 및 중요성
본 사업은 최첨단 극미세 측정/분석법이 요구되는 차세대 반도체 산업을 체계적으로 지원하기 위한 차세대 반도체 분석 종합지원체계를 구축하여 반도체 소자업체, 반도체 관련 중소업체 및 차세대 반도체 개발 연구를 지원하는데 있음. 이를 위하여 차세대 반도체 분석에 필요한 최고 분석 장비를 구축하여 분석 전문가에 의해

1. (최종년도, 당해년도) 목표
차세대 반도체 소자, 소재 및 장비 개발에 요구되는 최첨단 극미세 측정/분석 기술을 지원하기 위한 최상의 측정/분석 장비 및 전문가 구축
2. 당해 기반구축 목적 및 중요성
본 사업은 최첨단 극미세 측정/분석법이 요구되는 차세대 반도체 산업을 체계적으로 지원하기 위한 차세대 반도체 분석 종합지원체계를 구축하여 반도체 소자업체, 반도체 관련 중소업체 및 차세대 반도체 개발 연구를 지원하는데 있음. 이를 위하여 차세대 반도체 분석에 필요한 최고 분석 장비를 구축하여 분석 전문가에 의해 반도체 요소 분석법을 확립함으로써 차세대 반도체 분석 난제를 해결하고 확립된 기술을 이용하여 현장에서 요구되는 최고 수준의 반도체 분석을 종합적으로 지원한다.
3. 기반구축 내용 및 범위
① 차세대 반도체 특성 측정/분석 장비 구축
- 나노 두께/선폭 측정/나노 영역의 응력 및 결함 분석 장비
- 미량 도핑 원소의 정량 및 2D/3D 분포도 분석 장비
- shallow junction 깊이분포도 분석 장비
② 반도체 측정 난제 해결을 위한 종합 측정 기술 지원 체계 구축
- 산학연 협동 연구를 통한 차세대 반도체 측정 난제 해결
- 차세대 반도체 개발을 위한 핵심 측정/분석 기술 지원
- 최고의 분석 전문가에 의한 반도체 분석 기술 자문
4. 기반구축의 성과
○ 차세대반도체분석지원을 위한 SuperTEM 및 FIB 장비구매
○ 워크샵, 분석교육, 세미나, 등 다양한 기술교류회를 주관함
5. 활용방안 및 기대효과
○ 극미세 영역의 분석을 위해 아시아 최고 수준의 장비를 구축한 바 국가차원의 첨단산업 측정/분석 지원체계를 통한 실질적인 원천기술 개발의 근간이 될 것임
○ 향후 본 센터의 장비는 연간 3억 이상의 수입금을 창출하면서 실질적으로 조기에 자립화하여 실질적인 중소/중견 기업의 분석지원을 수행할 수 있음

목차 Contents

• 중간보고서제출서 ... 1
• 제출문 ... 4
• 요약서(초록) ... 5
• 목차 ... 6
• 제1장 사업의 추진 목표 ... 7
• 제1절 최종 목표 ... 7
• 제2절 기술개발 추진 일정 ... 9
• 제3절 연차별 시설기자재 구축전략 ... 10
• 제4절 5차년도 사업추진 실적 요약표 ... 13
• 제2장 사업의 추진 실적 보고 ... 15
• 제1절 추진실적현황표 ... 15
• 제2절 추진실적의 대표적인 사례 ... 16
• 제3절 기술 개발 결과 ... 30
• 제3장 사업의 성과 보고 ... 32
• 제1절 성과의 보급 및 확산 ... 32
• 제2절 전담요원 훈련 및 사용자 교육 ... 34
• 제3절 산학연공동연구 추진실적 ... 35
• 제4절 수익금 발생현황 ... 37
• 제5절 산학연 장비 사용 분석 자료 ... 37
• 제6절 자립운영을 위한 실적 및 향후방안 ... 40
• 제7절 동사업의 파급효과 및 해당분야 산업발전 기여도 ... 41