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NTIS 바로가기주관연구기관 | 울산과학기술대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 백정민 |
참여연구자 | 변지원 , 배지은 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-03 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201300017904 |
과제고유번호 | 1345150190 |
사업명 | 대형연구시설공동이용활성화지원분야 |
DB 구축일자 | 2013-08-26 |
키워드 | 금속절연체 전이.전자빔 조사.센서.스퍼터.VO2.MIT.E-beam irradiation.Sensor.Sputter. |
III. 연구개발의 내용 및 범위
VO2 나노선의 금속-절연체 전이(MIT) 온도 제어 기술 확보와 이를 이용한 고감도 환경 센서용 나노소재 개발을 위해, 본 연구에서는 아래의 연구 내용을 수행하였다.
■ 단결정 VO2 나노선 성장 기술 개발
- 대기압화학기상증착법과 코스퍼터법을 이용한 대면적 VO2 나노선 성장 기술 개발
- 나노선 집적화 기술 개발을 위해 나노패터닝을 이용한 기판의 표면 거칠기 및 형상 제어에 따른 나노선 성장 연구
- 실시간
III. Contents
■ Growth of single-crystal VO2 nanowires by On-Film Formation (OFF) of nanowires technique
- Development of synthesis processes for VO2-based nanowires from VOx thin film produced by co-sputtering method.
- Development of nanowire integration techniques
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