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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울대학교 Seoul National University |
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연구책임자 | 김영운 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-02 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201300017955 |
과제고유번호 | 1345153535 |
사업명 | 핵심연구지원사업 |
DB 구축일자 | 2013-08-26 |
키워드 | 투과전자현미경.실시간 관찰.복합 환경 조성.미세구조 분석.전자소자 동작.액상/고상 계면 관찰.신뢰성.시편 stage.분석장비 기술.transmission electron microscopy.real-time observation.complex variables.microstructure analysis.electrical device operation.solid/liquid interface.reliability.specimen stage.analytical technique. |
연구의 목적 및 내용
본 연구는 재료가 실제 사용·제작 환경(열적, 전기적, 기계적, 가스‧액상 분위기)에서의 미세구조 변화를 관찰·분석하기위한 분석 시스템의 개발을 목적으로 한다. 이러한 실시간 미세구조 분석 시스템의 개발을 통해, 재료의 사용에 따른 물성변화와 미세구조의 변화의 연관관계를 규명하고 물성변화에 미치는 중요한 미세구조적 요인을 판별함으로써 재료 특성 향상을 위한 연구의 기반이 되는 정보를 제공하고자 한다. 또한 재료의 합성 또는 소자의 제작 환경에서의 미세구조 변화를 분석하여 공정 요소와 미세구조 변화의 연관성
Purpose&contents
The research goal is to develop in-situ analytical techniques to investigate interfacial reactions under multiple environmental variables of heat, stress, electricity and gas/liquid environment. Especially, transmission electron microscope specimen stages that can make up various
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