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NTIS 바로가기주관연구기관 | 성균관대학교(자연과학캠퍼스) |
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연구책임자 | 김영독 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-04 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201300018130 |
과제고유번호 | 1345145010 |
사업명 | 기본연구지원사업 |
DB 구축일자 | 2013-08-26 |
1. 원자층 증착장비 set-up
본 연구기간 동안 원자층 증착법 장비의 set-up 이 이루어졌다. 반도체 장비의 refurbish를 전문으로 하는 주식사 가소닉스와 함께 저가의 실험실용 원장층 증착 장비를 set-up 할 수 있었다. 특히 기존의 웨이퍼 등 진공 쳄버 안에서 고정이 손쉬운 시료 뿐만 아니라 분말 시료를 담체로 사용하여 각각의 분말입자에 코팅을 할 수 있도록 하는실험장비를 고안하였으며, 이는 원자층 증착법을 실질적인 촉매의 제조에도 사용할 수 있도록 하였다. 이장비의 고안은 2011년 대한민국에서 특허 등록되
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