초록 ▼

1. 1차년도: 나노임프린트(열 방식) 리소그래피 공정에 대한 유한요소해석 모델 및 실험장비를 개발하였다. 해석모델의 경우 레지스트 재료의 rate 특성(점탄성체, 유체)을 고려한 모델을 개발하였으며, 스탬프와 레지스트의 상호접촉 상태를 모델링하여 보다 실제적인 임프린트 공정해석을 수행할 수 있게 되었다. 또한 임프린트 가압방법(더미블록, 롤링 등)에 따른 임프린트 공정의 정밀도 해석을 수행하였으며, 롤링방식의 경우 대면적 패턴 방식에 적합하다고 판단되어 지속적인 연구를 수행하였다. 마지막으로 나노임프린트 실험시스템을 설계하고 제작

1. 1차년도: 나노임프린트(열 방식) 리소그래피 공정에 대한 유한요소해석 모델 및 실험장비를 개발하였다. 해석모델의 경우 레지스트 재료의 rate 특성(점탄성체, 유체)을 고려한 모델을 개발하였으며, 스탬프와 레지스트의 상호접촉 상태를 모델링하여 보다 실제적인 임프린트 공정해석을 수행할 수 있게 되었다. 또한 임프린트 가압방법(더미블록, 롤링 등)에 따른 임프린트 공정의 정밀도 해석을 수행하였으며, 롤링방식의 경우 대면적 패턴 방식에 적합하다고 판단되어 지속적인 연구를 수행하였다. 마지막으로 나노임프린트 실험시스템을 설계하고 제작하였다. 제작비의 문제 때문에 실험장비는 2, 3차년도에 걸쳐 모듈별로 확장성을 고려하여 설계/제작하였다.
1차년도의 연구내용 중 롤링장비의 고무롤러에 의한 압력분포 내용을 정리하여 2차년도 전문학술지에 게재하였고 열-나노임프린트 방식의 공정개선을 주 내용으로 하는 특허를 2차년도에 출원하였다.
2. 2차년도: residual free 최적 공정 조건, bubble 감소 공정 조건에 대해 연구하였다. 나노임프린트 잔류층 최소화를 위해 유체유동 유한요소해석을 통하여 임프린팅 메카니즘을 분석하였고, 레지스트 초기 두께, 몰드 형상의 변화에 따른 임프린팅 형태와 필요 가압력을 정량적으로 분석하였다. 버블 감소 공정 조건 도출을 위해서는 UV 방식의 나노임프린트 실험장치가 필요하므로 2차년도에는 유동해석에 의한 버블 생성 메카니즘을 분석하였다. 3차년도에 UV모듈을 구입해 실험적인 분석이 이루어질 것이다. 2차년도에 1차년도부터 설계/제작하였던 열-나노임프린트 실험장비가 완성되어 다양한 실험분석이 가능해졌다.
2차년도 연구내용 중 대면적 유연몰드의 변형에 관한 내용으로 3차년도에 전문학술지에 게재하였고, 2차년도 완성된 실험장치에 의한 다양한 실험적 연구내용들을 3차년도 초 여러 학술대회에 발표하였다.
3. 3차년도: 대면적 스탬프 및 레지스트의 변형, 대면적 비균일 패턴 전사 기술 향상, 버블 프리 기술 개발 등에 대해 연구하였다. 실험장비와 해석모델을 이용하여 다양한 조건에서의 실험/해석을 수행하였으며, 실험과 해석의 비교를 통해 해석모델의 정밀도를 향상시켰다. 또한 대면적 패턴 전사에서의 스탬프, 레지스트 등의 영향을 고려한 패턴전사불량에 대해 실험적/해석적 연구를 지속적으로 진행하였으며, 버블 프리 기술에 대해서도 완성된 실험장비를 이용하여 다양한 공정조건에서의 버블 프리 조건을 연구하고 있다.
3차년도 연구내용 중 버블 관련 연구내용은 논문으로 정리해서 발표 준비 중이며, 대면적 패턴 전사 기술 향상 부분은 영문으로 작성해 SCI 논문지에 제출할 예정이다.

목차 Contents

• 일반연구자지원사업 최종(결과)보고서 ... 1
• 목 차 ... 3
• Ⅰ.연구결과요약문 ... 4
• Ⅱ. 연구내용 및 결과 ... 5
• 1. 연구과제의 개요 ... 5
• 2. 국내외 기술개발 현황 ... 5
• 3. 연구수행 내용 및 결과 ... 6
• 4. 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ... 7
• 5. 연구결과의 활용계획 ... 8
• 6. 연구과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 8
• Ⅲ. 연구성과 ... 9