초록 ▼

1. 1차년도: 나노임프린트(열 방식) 리소그래피 공정에서 가열온도 변화에 대한 충전공정을 시뮬레이션 하였다. 임프린팅 속도를 향상시키기 위해서는 가열온도를 최대한 낮추어야 하므로, 가열온도를 낮추는 경우 패턴 전사 특성 및 공정 전체에 미치는 영향을 분석하였다. 또 다른 주제로 이형 공정에서의 잔류층 수축 분석을 시도하였다. 열 방식 뿐만 아니라 UV 방식 임프린트 공정에서도 잔류층 수축 문제는 매우 중요하다. 잔류층 수축은 레지스트 재질의 영향이 크며, 레지스트와 스탬프 사이의 마찰력과 접착력의 차이에서 발생하는데, 1차년도에는

1. 1차년도: 나노임프린트(열 방식) 리소그래피 공정에서 가열온도 변화에 대한 충전공정을 시뮬레이션 하였다. 임프린팅 속도를 향상시키기 위해서는 가열온도를 최대한 낮추어야 하므로, 가열온도를 낮추는 경우 패턴 전사 특성 및 공정 전체에 미치는 영향을 분석하였다. 또 다른 주제로 이형 공정에서의 잔류층 수축 분석을 시도하였다. 열 방식 뿐만 아니라 UV 방식 임프린트 공정에서도 잔류층 수축 문제는 매우 중요하다. 잔류층 수축은 레지스트 재질의 영향이 크며, 레지스트와 스탬프 사이의 마찰력과 접착력의 차이에서 발생하는데, 1차년도에는 UV 방식 임프린트 공정에서 UV 경화 시 잔류층 수축에 대한 현상을 모사할 수 있는 모델링을 수행하였다.
1차년도의 연구내용 중 열방식 나노임프린트 점탄성 유한요소해석 내용을 정리하여 학술대회에 발표하였다.
2. 2차년도: 열 방식 나노임프린트의 이형공정을 모사하는 모델링 기법을 개발하였고, 1차년도 연구한 UV 방식 나노임프린트 레지스트 수축 모델을 이용하여 신뢰성 있는 이형공정 시뮬레이션 모델을 개발하였다. 열 방식 나노임프린트 이형공정을 해석하기 위해서 이형 전 냉각에 대한 열응력 해석을 수행한 후 이형에 따른 응력 변화를 해석하였다. 또한 다양한 공정조건 변화에 따른 잔류층 높이 변화 실험을 수행하였다. UV 방식 나노임프린트에서는 이형공정에서의 레지스트 수축현상에 대한 고찰 후 이형 공정 후 응력해석을 수행하였다.
2차년도 연구내용 중 임프린팅 공정 냉각성능 개선에 대한 내용으로 전문학술지에 게재하였고, 실험연구 내용을 정리하여 학술대회에 발표하였다.
3. 3차년도: 최근 고속 임프린팅 방법으로 롤링 방식이 활발히 연구되고 있으므로, 본 연구에서도 대면적 롤러가압 방식의 고속 임프린팅 기술을 연구하였다. 롤러 가압시스템을 설계하였으며, 롤러 가압 및 롤링 속도에 따른 잔류층 두께를 분석하였다. 또한 비진공 하 임프린팅 공정에서 가장 문제시 되는 기포결함에 대해 실험적으로 연구하였다. 3차년도 연구내용 중 롤링 가압 방식의 잔류층 분석 내용은 영문으로 작성해 SCI 논문지에 제출할 예정이며, 실험적 기포결함 연구는 학술대회에 발표하였다.

목차 Contents

• 일반연구자지원사업 최종(결과)보고서 ... 1
• 목차 ... 3
• I. 연구결과 요약문 ... 4
• II. 연구내용 및 결과 ... 5
• 1. 연구과제의 개요 ... 5
• 2. 국내외 기술개발 현황 ... 5
• 3. 연구수행 내용 및 결과 ... 6
• 4. 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ... 7
• 5. 연구결과의 활용계획 ... 8
• 6. 연구과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 8
• III. 연구성과 ... 9