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NTIS 바로가기주관연구기관 | 순천향대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 김국원 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-06 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO201300018505 |
과제고유번호 | 1345154668 |
사업명 | 기본연구지원사업 |
DB 구축일자 | 2013-09-21 |
1. 1차년도: 나노임프린트(열 방식) 리소그래피 공정에 대한 유한요소해석 모델 및 실험장비를 개발하였다. 해석모델의 경우 레지스트 재료의 rate 특성(점탄성체, 유체)을 고려한 모델을 개발하였으며, 스탬프와 레지스트의 상호접촉 상태를 모델링하여 보다 실제적인 임프린트 공정해석을 수행할 수 있게 되었다. 또한 임프린트 가압방법(더미블록, 롤링 등)에 따른 임프린트 공정의 정밀도 해석을 수행하였으며, 롤링방식의 경우 대면적 패턴 방식에 적합하다고 판단되어 지속적인 연구를 수행하였다. 마지막으로 나노임프린트 실험시스템을 설계하고 제작
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