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NTIS 바로가기주관연구기관 | 전북대학교 Chonbuk National University |
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연구책임자 | 류시형 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-06 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201300019145 |
과제고유번호 | 1345151100 |
사업명 | 기본연구지원사업 |
DB 구축일자 | 2013-08-26 |
본 연구과제를 통해 AFM을 이용하여 금속에 나노 구조를 제작하는 방법에 대해서 연구하였다. 금속 재료에 나노 구조를 패터닝하기 위해서 현재까지는 강성이 강한 프로브로 재료 표면을 기계적으로 스크라이빙하는 방법을 주로 사용하고 있는데, 이는 일부 연질 재료만 적용이 가능할 뿐 만 아니라, 프로브 마모를 발생시키고, 나노 패턴 주위에 긁힌 재료가 쌓여 제작된 패턴의 형상이 좋지 않는 등 여러가지 문제점이 있다. 본 연구에서는 기계적인 방법 대신에 전기적, 또는 화학적인 방법과 이를 융합한 공정에 의해 나노 구조를 제작하고자 하였다.
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