최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
---|---|
연구책임자 | 이창우 |
참여연구자 | 김경호 , 김동훈 , 김양진 , 박천홍 , 송준엽 , 심종엽 , 오정석 , 이재학 , 이찬홍 , 하태호 , 황주호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-01 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 미래창조과학부 KA |
과제관리전문기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
등록번호 | TRKO201300021557 |
과제고유번호 | 1415111796 |
사업명 | 한국기계연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2013-10-26 |
키워드 | 진공환경용 초정밀 스테이지.전자빔.롤 패터닝.진공.공기베어링.Vacuum-compatible ultra precision stage.E-beam.Roll patterning.Vacuum.Air bearing. |
III. 연구개발의 내용 및 범위
2차년도(2010)
연구개발 목표
- 롤 패터닝 장비 핵심 요소 설계기술 개발
연구개발 내용 및 범위
• 롤 패터닝 장비 상세설계(롤폭 100 mm, 롤직경 50mm, 미세선폭 150 nm 기준)
• 스테이지 정밀도 측정 및 보상기술 개발
• 롤 패턴 가공을 위한 동기제어기술 개발
• 고진공 챔버 및 방진시스템 설계 및 제작
• 전자빔 스팟 사이즈 : 250 nm
III. Research Contents and Scope
2nd year(2010)
Objective
- Development of core technologies for roll patterning machine
Contents and Scope
- Design and fabrication of roll patterning machine(length of roll:100 mm, diameter of roll:50 mm, pattern width:150 nm)
- Measurement and com
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.