초록

III. 연구개발의 내용 및 범위
2차년도(2010)
연구개발 목표
- 롤 패터닝 장비 핵심 요소 설계기술 개발
연구개발 내용 및 범위
• 롤 패터닝 장비 상세설계(롤폭 100 mm, 롤직경 50mm, 미세선폭 150 nm 기준)
• 스테이지 정밀도 측정 및 보상기술 개발
• 롤 패턴 가공을 위한 동기제어기술 개발
• 고진공 챔버 및 방진시스템 설계 및 제작
• 전자빔 스팟 사이즈 : 250 nm

Abstract ▼

III. Research Contents and Scope
2nd year(2010)
Objective
- Development of core technologies for roll patterning machine
Contents and Scope
- Design and fabrication of roll patterning machine(length of roll:100 mm, diameter of roll:50 mm, pattern width:150 nm)
- Measurement and com

III. Research Contents and Scope
2nd year(2010)
Objective
- Development of core technologies for roll patterning machine
Contents and Scope
- Design and fabrication of roll patterning machine(length of roll:100 mm, diameter of roll:50 mm, pattern width:150 nm)
- Measurement and compensation of stages in vacuum
- Design and fabrication of vacuum chamber and anti-vibration system
- Spot size of electron beams : 250 nm

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 2
• 보고서 초록 ... 3
• 요약문 ... 4
• SUMMARY ... 6
• CONTENTS ... 6
• 목차 ... 7
• 제1장 연구개발과제의 개요 ... 9
• 제1절 연구개발의 필요성 ... 9
• 1. 기술적 측면 ... 9
• 2. 경제, 산업적 측면 ... 10
• 3. 사회, 문화적 측면 ... 11
• 제2절 연구개발의 목표 및 내용 ... 12
• 1. 연구개발의 목표 ... 12
• 2. 연구개발의 내용 ... 12
• 제2장 국내외 기술개발 현황 ... 13
• 제1절 국외기술개발 현황 ... 13
• 제2절 국내기술개발 현황 ... 15
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 16
• 제1절 롤 패터닝 장비 설계 ... 16
• 1. 롤 패터닝 장비 문헌조사 ... 16
• 2. 롤 패터닝 장비 개념설계 ... 20
• 3. 롤 패터닝 장비 상세설계 ... 23
• 1) 롤 패터닝 장비 구조 ... 23
• 2) 운동전달용 피드스루 설계 ... 24
• 3) 직선스테이지 설계 ... 28
• 4) 회전스테이지 설계 ... 31
• 제2절 롤 패터닝 장비 제작 및 성능평가 ... 34
• 1. 롤 패터닝 장비 ... 34
• 2. 직선스테이지 평가 ... 35
• 3. 회전스테이지 평가 ... 36
• 4. 진공도 평가 ... 37
• 제3절 전자빔 경통의 빔제어 ... 38
• 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 41
• 제1절 사업 진도 및 추진 실적 ... 41
• 제2절 당해연도 연구성과 ... 41
• 제5장 연구개발결과의 활용계획 ... 46
• 제6장 참고문헌 ... 47