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유연스템프 기반 나노임프린트장비 응용기술 개발
Development of Application Technology for Flexible Stamp Based Nanoimprint Equipment 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
연구책임자 이재종
참여연구자 최기봉 , 김기홍 , 임형준 , 이성휘
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2010-12
과제시작연도 2010
주관부처 미래창조과학부
KA
사업 관리 기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
등록번호 TRKO201300021583
과제고유번호 1415111772
사업명 한국기계연구원연구운영비지원
DB 구축일자 2013-10-26
키워드 나노 스템프.나노임프린트.유연 스템프.롤 패터닝.열경화.nanostamp.nanoimprint.flexible stamp.roll patterning.thermal curing.

초록 ▼

본 연구의 최종목표는 소프트 스템프 및 Flexible film 스템프를 사용하여 6인치 이상의 웨이퍼 및 Flexible substrate에 Sub-um급의 패터닝이 가능한 롤스템프방식 나노임프린트 장비 요소기술 및 응용기술을 개발하고, 개발기술을 기반으로 기업과 연계한 상용화를 위한 기반기술을 개발하는 것임. 본 사업의 1차년도에 수행한 연구결과는 다음과 같음.
○ Flexible Film 스템프 제작공정 기술 개발
○ 유연 스템프기반 나노임프린트장비 구조설계
○ 4인치급 유연 스템프기반 나노임프린트 공정실험 및

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제출문 ... 2
  • 보고서 초록 ... 3
  • 요약문 ... 4
  • 목차 ... 7
  • 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 8
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 13
  • 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 15
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 25
  • <계량적 성과> ... 25
  • <기술적 성과 및 실용화 성과> ... 25
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 27
  • 가) 기술적 측면 ... 27
  • 나) 경제·산업적 측면 ... 27
  • 다) 활용방안 ... 27
  • 제 6 장 참고문헌 ... 28

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참고문헌 (25)

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