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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 이양래 |
참여연구자 | 김현세 , 임의수 , 김철명 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-01 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 미래창조과학부 KA |
과제관리전문기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
등록번호 | TRKO201300021588 |
과제고유번호 | 1415111767 |
사업명 | 한국기계연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2013-10-05 |
키워드 | 메가소닉. 반도체세정.웨이브가이드.임피던스.유한요소해석.Megasonic.Semi-conductor Cleaning.Waveguide.Impedance.Finite Element Methods. |
Ⅲ. 연구개발의 내용 및 범위
- FEM 이용 공진특성 및 음장 해석
- horn type quartz 진동자 설계 제작
- 발진기와 tuning
- 음압분포실험 및 분석
- 세정실험 및 분석
- 기술이전
A horn-type megasonic system for cleaning semi-conductors with uniform acoustic pressures, was designed and manufactured. The impedance graph of the piezoelectric actuator used in the system was predicted using the FEM (Finite Element Method); this gives the anti-resonance frequency of the piezoelec
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