초록 ▼

Ⅲ. 연구개발의 내용 및 범위
1차년도(2009)
고에너지빔 응용 프린팅 롤 하이브리드 패터닝 핵심요소기술 개발
· 레이저 빔-롤 소재 간 상호반응특성 실험적 분석
· 레이저 빔 초점 정렬 기술 개발
· 프린팅 롤 패터닝 소프트웨어 기술 개발
· Long-term 레이저 빔 품질 제어기술 개발
· 전자빔 패터닝을 위한 전자빔 제어기술 개발
2차년도(2010)
고에너지빔 응용 프린팅 롤 패턴 고정세화 기술 개발
· 레이저 패터닝 공정변수

Ⅲ. 연구개발의 내용 및 범위
1차년도(2009)
고에너지빔 응용 프린팅 롤 하이브리드 패터닝 핵심요소기술 개발
· 레이저 빔-롤 소재 간 상호반응특성 실험적 분석
· 레이저 빔 초점 정렬 기술 개발
· 프린팅 롤 패터닝 소프트웨어 기술 개발
· Long-term 레이저 빔 품질 제어기술 개발
· 전자빔 패터닝을 위한 전자빔 제어기술 개발
2차년도(2010)
고에너지빔 응용 프린팅 롤 패턴 고정세화 기술 개발
· 레이저 패터닝 공정변수 영향 분석
· 레이저 빔 초점 정렬 정밀화 기술 개발
· 패터닝 공정 고정밀화를 위한 소프트웨어 기술 개발
· 전자빔 패터닝용 적정 PR 선정 및 가공특성 평가
3차년도(2011)
고에너지빔 응용 프린팅 롤 패터닝 고속화 기술 개발
· 레이저 패터닝 공정변수 최적화 및 안정화
· 하이브리드 패터닝 공정 최적화 및 안정화
· 레이저 빔 초점 정렬 고속화 기술 개발
· 패터닝 공정 고속화를 위한 소프트웨어 기술 개발

Abstract ▼

Ⅲ. Research Contents and Scope
1st year(2009) - Core element technologies for high-density & highenergy beam-based highprecision patterning of printing rolls
- Experimental analysis of the interactions between laser beam and printing roll materials
- Alignment of the focus of laser be

Ⅲ. Research Contents and Scope
1st year(2009) - Core element technologies for high-density & highenergy beam-based highprecision patterning of printing rolls
- Experimental analysis of the interactions between laser beam and printing roll materials
- Alignment of the focus of laser beam
- Pattering software for the patterning of printing rolls
- Long-term laser beam quality control
- Electron beam control for the electron beam patterning
2nd year(2010) - High-precise & highaccurate technologies for high-density & high-energy beam-based high-precision patterning of printing rolls
- Analysis of the effects of the laser patterning process parameters
- Precise alignment of the focus of laser beam
- Pattering software for patterning high-density patterns
- Selection of appropriate photo-resist for the electron beam patterning
3rd year(2011) - High-speed technologies for high-density & high-energy beam-based high-precision patterning of printing rolls
- Optimization & stabilization of the laser patterning process parameters
- Optimization & stabilization of the hybrid patterning process
- High-speed alignment of the focus of laser beam
- Pattering software for the high-speed patterning of printing rolls

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 보고서 초록 ... 3
• 요 약 문 ... 4
• S U M M A R Y ... 6
• C O N T E N T S ... 8
• 목 차 ... 9
• 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 10
• 제 1 절 연구개발의 필요성 ... 10
• 제 2 절 연구개발의 목적 및 내용 ... 13
• 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 14
• 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 18
• 제 1 절 프린팅 롤 레이저 패터닝 공정 개발 ... 18
• 제 2 절 레이저 빔 품질 제어 및 초점 정렬 기술 ... 31
• 제 3 절 하이브리드 패터닝 공정 개발 ... 37
• 제 4 절 프린팅 롤 레이저 패터닝 공정 소프트웨어 개발(위탁) ... 48
• 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 57
• 제 1 절 당해연도 연구성과 ... 57
• 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 64
• 제 1 절 기대 효과 ... 64
• 제 2 절 활용 분야 ... 64
• 제 6 장 참고문헌 ... 66