최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
---|---|
연구책임자 | 송영훈 |
참여연구자 | 김관태 , 이재옥 , 허민 , 이대훈 , 강우석 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-01 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 미래창조과학부 KA |
사업 관리 기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
등록번호 | TRKO201300021635 |
과제고유번호 | 1415118462 |
사업명 | 한국기계연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2013-12-21 |
키워드 | 저압 플라즈마.온실가스.입자부산물.진공펌프 내구성.반도체/디스플레이.low-pressure plasma.greenhouse gas.byprduct particles.vacuum pump durability.semiconductor/display. |
Ⅲ. 연구개발의 내용 및 범위
- 반도체/디스플레이 공정에서 배출되는 입자 부산물 크기 저감을 위한 저압 플라즈마 장비 개발
- 개발장비, 반도체 실라인 검증 및 관련 성과물 기술이전
Ⅲ. Content and scope
- Development of low-pressure plasma equipment for reduction of sizes of byproduct particles generated by semiconductor and display manufacturing processes
- Verification of technology performance and reliability in a real manufacturing line and technology transfer to LOTv
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.