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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국디스플레이연구조합 |
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연구책임자 | 문대규 |
참여연구자 | 김병국 , 양호식 , 이상진 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-07 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201800040223 |
과제고유번호 | 1711041306 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-09-22 |
키워드 | 능동형 유기발광소자.광소결.플라즈마 식각.디스플레이 제조장비.성능평가. |
핵심기술
ㅇ 플래시 램프를 이용한 산화물 반도체와 금속 도전 막 광소결 및 인라인 공정을 통한 공정 시간 감소, 공정 조건 최적화
ㅇ 대체 Gas 사용 AMOLED용 8세대급 고주파 유도결합 플라즈마 건식식각 공정 기술
최종목표
ㅇ (총괄) 저에너지소비 광 열처리 장비, 온실가스저감 고밀도 플라즈마 식각 공정 장비 등 핵심 기술 개발 및 평가 인증
ㅇ (1세부) TFT 공정용 저에너지 소비 가시광 대역 광소결 장치
핵심 기술 개발
ㅇ (2세부) AMOLED 백플레인 공정용 8세대
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