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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)이레테크 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-08 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 산업자원부 Ministry of Commerce Industry and Energy |
과제관리전문기관 | 한국산업단지공단 Korea Industrial Complex Corporation |
등록번호 | TRKO201300022695 |
과제고유번호 | 1415110311 |
사업명 | 산업집적지경쟁력강화사업 |
DB 구축일자 | 2013-10-05 |
키워드 | 태양전지.벌크실리콘.웨이퍼.텍스처링.Si. |
1. 최종목표
본 과제에서 핵심 기술은 최종 생산될 기판을 기존에 셀제조업체에서 수행하던 텍스처링 공정까지 완료하여 공급함으로써 셀제조업체의 공정시간 및 비용 단축과 안정적인 품질의 텍스처링 기관을 공급하는 것이라 할 수 있음.
주관기관에서는 보유하고 있는 slicing 장비의 진동 및 공정오차 등을 최소화시킴으로써 개발 목표인 160um 의 poly Si 기관을 제작할 수 있는 조건을 확립한 것임
또한 One batch 타입의 습식표면처리 장치를 이용하여 절단한 Si 웨이퍼에 표면 Texturing 기술을 개발하
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