$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

기공제어 기술개발 및 응용 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국기계연구원 부설 재료연구소
연구책임자 송인혁
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2011-07
과제시작연도 2010
주관부처 지식경제부
사업 관리 기관 한국기계연구원 부설 재료연구소
등록번호 TRKO201300022837
과제고유번호 1415112208
사업명 지식경제프론티어기술개발
DB 구축일자 2013-10-05
키워드 다공성 세라믹스.기공제어.진공척.조습타일.

초록

핵심기술
o 기존의 다공질 재료에 비하여 기공율이 높으면서도 기공크기가 매우 작은 다량의 기공이 시편 내부에 균일하게 분포시키는 기술
최종목표
★ 다공성 진공척 소재 및 경량 조습 타일의 상용화
- 다공성 진공척 상용화 기반 구축
- 조습 타일의 현장 적용 및 양산화
개발내용 및 결과
o 반도체 산업용 다공성 진공척
: 다공성 진공척의 요구특성은 높은 통기도를 가지면서 기공이 균일하게 발달된 미세구조를 가지며, 분진 발생을 최소화해야 함.
: 이에 대하여 기공구조, 소결온도 및 조성

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제출문 ... 2
  • 기술개발사업 최종보고서 초록 ... 3
  • <기술개발사업 주요 연구성과> ... 9
  • 목차 ... 20
  • 제 1 장 서론 ... 21
  • 제 1 절 개발기술의 중요성 및 필요성 ... 21
  • 1. 기술적인 측면에서 중요성 및 필요성 ... 21
  • 2. 사회문화적 측면에서 중요성 및 필요성 ... 25
  • 제 2 절 국내.외 관련 기술의 현황 ... 27
  • 1. 국외 관련 기술 현황 ... 27
  • 2. 국내 관련 기술 현황 ... 33
  • 3. 진공척 분야의 기술 동향 분석 ... 36
  • 4. 조습타일 분야의 기술 동향 분석 ... 41
  • 제 3 절 기술개발 시 예상되는 기술적.경제적 파급 효과 ... 44
  • 제 2 장 기술개발 내용 및 방법 ... 46
  • 제 1 절 최종 목표 및 평가 방법 ... 46
  • 1. 3단계 최종 목표 ... 46
  • 2. 평가 방법 ... 46
  • 제 2 절 단계 목표 및 평가 방법 ... 47
  • 제 3 절 연차별 개발 내용 및 개발 범위 ... 48
  • 제 3 장 결과 및 사업화 계획 ... 50
  • 제 1 절 연구개발 최종 결과 ... 50
  • o 연구개발 추진 일정 ... 50
  • o 연구개발 추진 실적 ... 52
  • o 기술개발 결과의 유형 및 무형 성과 ... 54
  • 제 2 절 연구개발 추진체계 ... 151
  • 제 3 절 시장 현황 및 사업화 전망 ... 153
  • 1. 시장 현황 ... 153
  • 2. 사업화 전망 ... 154
  • 위탁과제 ... 156

표/그림 (300)

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로