초록 ▼

1차년도
○ 스퍼터링 동시증착 방법을 활용한 새로운 산화물 반도체 (Ti-In-Sn-O)박막 탐색 및 기초 물성 연구
○ Charge pumping 및 single pulse method를 이용한 산화물 박막 트랜지스터의 정밀 신뢰성 평가법 구축
2차년도
○ 동시 증착 RF 및 DC power, 산소분압, 챔버압력 등의 제어를 통한 최적 특성을 갖는 반도체 도출
○ ZrO2 도핑을 통한 ZTO TFT 소자 개발
○ MN rule을 이용한 IGZO 산화물 트랜지스터의 정밀 트랩 평가
3차년도

1차년도
○ 스퍼터링 동시증착 방법을 활용한 새로운 산화물 반도체 (Ti-In-Sn-O)박막 탐색 및 기초 물성 연구
○ Charge pumping 및 single pulse method를 이용한 산화물 박막 트랜지스터의 정밀 신뢰성 평가법 구축
2차년도
○ 동시 증착 RF 및 DC power, 산소분압, 챔버압력 등의 제어를 통한 최적 특성을 갖는 반도체 도출
○ ZrO2 도핑을 통한 ZTO TFT 소자 개발
○ MN rule을 이용한 IGZO 산화물 트랜지스터의 정밀 트랩 평가
3차년도
○ Li-Zn-Sn-O 산화물 박막 트랜지스터 소자 성능 및 ZTO/IZO Double 채널 구조 최적화
○ 산화물 박막 트랜지스터 소자의 공정 파라미터와 신뢰성 상호 관련성 연구
○ 온도, DC 및 AC 신뢰성 개선을 위한 공정 최적화
○ 신규 산화물 트랜지스터 소자의 계면 트랩 및 NBTI/PBTI 열화 기구 연구

Abstract ▼

1st year
○ Screening the oxide semiconductor thin film (Ti-In-Sn-O) by using co-sputtering system and investigation of their physical and electrical properties
○ The reliability evaluation of oxide thin film transistor using charge pumping and single pulse method
2nd year
○ Development

1st year
○ Screening the oxide semiconductor thin film (Ti-In-Sn-O) by using co-sputtering system and investigation of their physical and electrical properties
○ The reliability evaluation of oxide thin film transistor using charge pumping and single pulse method
2nd year
○ Development of the optimum oxide semiconductor film by control of RF, DC power, oxygen partial pressure, and chamber pressure.
○ Development of ZrO2 doped Zn-Sn-O TFTs
○ Evaluation of accurate trap of the conventional IGZO TFT using NM Rule
3rd year
○ Improvement of the device performance of Li-Zn-Sn-O TFT and ZTO/IZO double channel device
○ Study on the correlation between the process parameters of oxide TFT and the resulting device stabilities
○ Development of the overall process for improving the temperature, DC and AC reliability of oxide TFT
○ Study on the interficial trap and the degradation mechanism of NBTI and PBTI for oxide TFT

목차 Contents

• 일반연구자지원사업 최종(결과)보고서 ... 1
• 목차 ... 2
• I. 연구결과 요약문 ... 3
• II. 연구내용 및 결과 ... 4
• 1. 연구과제의 개요 ... 4
• 2. 국내외 기술개발 현황 ... 4
• 3. 연구수행 내용 및 결과 ... 5
• 4. 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ... 8
• 5. 연구결과의 활용 계획 ... 10
• 6. 연구과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 10
• III. 연구성과 ... 11