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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)아바코 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-08 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 지식경제부 Ministry of Knowledge Economy |
등록번호 | TRKO201300024655 |
과제고유번호 | 1415113634 |
사업명 | 신재생에너지기술개발(전력) |
DB 구축일자 | 2013-09-14 |
키워드 | Sputtering System.Thin Film Solar Cell.Cylindrical Target.TCO(Transparent Conducting Oxide.ZnO. |
핵심기술
Si 기반 박막 태양전지의 Back Reflector 금속막을 Sputtering 방법으로 증착하는 기술과, Sputtering에 사용되는 Target의 사용 효율 극대화를 위한 고효율 Cathode 제작 기술이 본 과제의 핵심 기술임
최종목표
○ 박막형 태양전지 금속막 증착기술 개발
- ZnO Layer 투과율: 95% 이상
- 박막두께 및 면저항 불균일도: < ±5%
- 금속막 Resistivity: Ag 2μΩcm 이하
○ Target 사용 효율 극대화를 위한 Cathode 제작
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