초록 ▼

핵심기술
- 중전기기 절연용 SF₆ 가스 품질평가용 표준물질 및 분성방법 개발
- SF₆ 가스 기술 및 성문표준기반 구축
최종목표
- SF₆ 가스 품질 평가를 위한 국제적인 소급성 연결고리를 확보한 측정표준 활용 기술의 개발과 기 개발된 측정표준을 중전기기 산업 등 현장 적용을 통해 효과적인 온실가스 사전 배출 저감방안의 하나로서 SF₆가스 Recycling 시스템 등 가스품질관리가 필수적인 시스템 혹은 제품에 대한 제3자 시험 기관

핵심기술
- 중전기기 절연용 SF₆ 가스 품질평가용 표준물질 및 분성방법 개발
- SF₆ 가스 기술 및 성문표준기반 구축
최종목표
- SF₆ 가스 품질 평가를 위한 국제적인 소급성 연결고리를 확보한 측정표준 활용 기술의 개발과 기 개발된 측정표준을 중전기기 산업 등 현장 적용을 통해 효과적인 온실가스 사전 배출 저감방안의 하나로서 SF₆가스 Recycling 시스템 등 가스품질관리가 필수적인 시스템 혹은 제품에 대한 제3자 시험 기관에 의해 과학적, 객관적, 신뢰성 높은 품질보증
개발내용 및 결과
- 중전기기 절연용 SF₆가스 품질평가용 표준물질 개발
: 저농도 1종(1%), 고농도 4종(96%, 97%, 98%, 99%)
- SF₆ 농도 및 순도 분석방법 개발 : KS규격 제정 신청 기술개발배경
- 연구개발전 국내에는 중전기기 절연용 SF₆의 저감, 분리, 회수, 재활용 등 품질평가용에 적합한 표준 가스(calibration gas)가 미개발되어 있으며 측정표준 기반 품질평가 시스템이 부재함.
- SF₆ 배출량 감축 수단으로서 재활용 SF₆ 가스에 대한 국제적 신뢰성 확보를 실현하기 위해서는 근본적으로 국제적 소급성 (international traceability)을 확보하고 불확도(uncertainty) 정보를 알고 있는 품질관리목적에 적합한 인증표준물질 (certified reference materials)을 개발하여, 적합한 순도 (purity) 및 불순물(impurities) 분석 시스템을 구축하여, 유효성 있는 절차서를 개발하여, 측정표준에 기초한 품질평가 기술의 개발의 확립이 필요하며 최종적으로 소비자가 원하는 제3자 인증시스템에 의한 품질보증이 확보되어야 함.
핵심개발기술의 의의
- 연구개발전 국내에는 중전기기 절연용 SF₆의 저감, 분리, 회수, 재활용 등 품질평가용에 적합한 표준 가스(calibration gas)가 미개발되어 있으며 측정표준 기반 품질평가 시스템이 부재하였으나 품질평가용 SF₆ 인증표준가스 개발 및 SF₆ 분석방법 개발로 이러한 문제점 해결
적용분야
- 중전기기, 반도체/LCD 제조 공정

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 2
• 기술개발사업 최종보고서 초록 ... 3
• <기술개발사업 주요 연구성과> ... 8
• 목차 ... 11
• 제 1 장 서론 ... 13
• 제 1 절 개발기술의 중요성 및 필요성 ... 13
• 제 2 절 국내·외 관련 기술의 현황 ... 14
• 제 3 절 기술개발시 예상되는 기술적·경제적 파급 효과 ... 15
• 제 2 장 기술개발 내용 및 방법 ... 18
• 제 1 최종목표 및 평가 방법 ... 18
• 제 2 절 단계목표 및 평가 방법 ... 19
• 제 3 절 연차별 개발 내용 및 개발 범위 ... 21
• 제 4 절 수행 결과의 보안등급 ... 26
• 제 5 절 유형적 발생품 구입 관리 및 현황 ... 27
• 제 3 장 결과 및 사업화 계획 ... 28
• 제 1 절 연구개발 최종 결과 ... 28
• 1. 연구개발 추진 일정 ... 28
• 2. 연구개발 추진 실적 ... 31
• 가. 국제 및 국내 규격 적용 및 품질평가용 표준물질 기준 농도 설정 ... 31
• 나. 현장 충진용 SF6 가스 순도 분석 기술 개발 ... 35
• 다. 중량법에 의한 표준가스 제조 방법 개발 ... 45
• 라. 품질관리용 SF6 표준가스 제조 및 불확도 평가 ... 54
• 마. 숙련도 시험 교육 ... 59
• 바. 시험설비 구축 ... 65
• 사. 현장 SF6 가스 샘플링 기술 방법론 개발 ... 73
• 아. SF6 가스 품질관리용 숙련도 시험 실시 및 비교평가 (1차) ... 76
• 자. SF6 시험절차서(QA/QC포함)개발 ... 96
• 차. 성문표준개발을 위한 기반구축 ... 97
• 카. SF6 CRM COMAR 등록 ... 98
• 타. SF6 가스 분석 시험소 전문 인력 양성 ... 104
• 파. 교육/훈련 ... 104
• 하. 기술지도/현장지도 ... 105
• 거. 홈페이지 구축·운영 ... 105
• 너. 가이드라인 발간 ... 106
• 더. SF6 가스 품질관리용 숙련도 시험 실시 및 비교평가 (2차) ... 107
• 러. SF6의 처리시스템 성능평가 기술개발 ... 117
• 머. 측정표준기반 SF6 가스 배출량 선정평가 기술개발 ... 155
• 버. SF6 가스 분석방법 KS 제정 신청, 공인성적서 발행 및 공인시험소 (KOLAS) 인정 ... 160
• 3. 기술개발 결과의 유형 및 무형 성과 전체를 기재 ... 161
• 제 2 절 연구개발 추진 체계 ... 161
• 1. 각 기관별 역할 및 추진 내역 ... 161
• 가. 기술개발 추진체계 ... 161
• 나. 기술개발팀 편성도 ... 162
• 제 3 절 시장 현황 및 사업화 전망 ... 163
• 제 4 절 고용 창출 효과 ... 163
• 제 5 절 자체보안관리진단표 ... 164
• 부록 ... 166
• Ⅰ. SF6의 순도분석 시험절차 ... 167
• Ⅱ. 가스크로마토그래피를 이용한 SF6 농도 시험 절차 ... 179
• Ⅲ. SF6 CRM 및 품질평가시스템의 이해를 위한 지침서 ... 193
• Ⅳ. 무기원료가스의 순도분석 시험방법 ... 218
• Ⅴ. THC 측정 시험방법 ... 227
• Ⅵ. 고순도 가스중의 수분 함량 측정 시험방법 ... 233
• Ⅶ. Impinger를 이용한 독성가스 분석 시험방법 ... 237
• Ⅷ. IC에 의한 음이온 인증 시험방법 ... 244
• Ⅸ. 중전기기 품질관리용 SF6 가스농도 측정 1차 숙련도시험 프로토콜 ... 257
• Ⅹ. COMAR 신청 관련 E-mail 자료 ... 282
• ⅩⅠ. 중전기기 품질관리용 SF6 가스농도 측정 2차 숙련도시험 프로토콜 ... 286
• ⅩⅡ . 가스크로마토그래피를 이용한 SF6 농도시험방법 KS 표준안 ... 321
• ⅩⅢ . SF6가스 순도분석방법 KS 표준안 ... 329