$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

RF 플라즈마 전자빔의 저온결정화 응용 기술 개발
Development of application technology for low temperature crystallization by RF plasma electron beam 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국전기연구원
Korea Electrotechnology Research Institute
연구책임자 고락길
참여연구자 하동우 , 김호섭 , 오상수 , 하홍수 , 백승규
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2010-12
과제시작연도 2010
주관부처 미래창조과학부
KA
사업 관리 기관 한국전기연구원
Korea Electrotechnology Research Institute
등록번호 TRKO201300029752
과제고유번호 1415114498
사업명 한국전기연구원연구운영비지원
DB 구축일자 2013-10-05

초록

제 1 절 연구개발의 목적
저온실리콘결정화(LTPS; Low Temperaute Poly Silicon) 기술은 고온에서 열처리 공정에 의한 일반적인 결정화가 아닌 약 400 °C 이하의 저온에서 비정질 실리콘(a-Si)을 결정화 시켜 다결정 실리콘(p-Si)으로 제조하는 기술이다.
p-Si(다결정 실리콘)은 a-Si(비정질 실리콘)에 비해 전계효과 이동도가 100배 이상 크기 때문에 최근 일체형 및 고밀도 LCD와 차세대 디스플레이로 각광 받고 있는 AMOLED에는 p-Si TFT를 사용하고 있다.

목차 Contents

  • 표 지 ... 3
  • 제 출 문 ... 4
  • 보고서 초록 ... 5
  • 요 약 문 ... 6
  • S U M M A R Y ... 7
  • C O N T E N T S ... 7
  • 목 차 ... 8
  • 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 9
  • 제 1 절 연구개발의 목적 ... 9
  • 제 2 절 연구개발의 필요성 ... 11
  • 제 3 절 연구과제의 개요 ... 14
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 17
  • 제 1 절 국내외 기술 수준 현황 ... 17
  • 제 2 절 지적재산권 현황 ... 17
  • 제 3 장 연구개발 수행내용 및 결과 ... 19
  • 제 1 절 전자빔을 이용한 결정화 ... 19
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 26
  • 제 1 절 연구개발목표의 달성도 ... 26
  • 제 2 절 연구개발 관련분야의 기술발전 기여도 ... 26
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 27
  • 제 1 절 추가연구의 필요성 ... 27
  • 제 2 절 타연구에의 응용 ... 27
  • 제 3 절 기업화 추진방향 ... 27
  • 제 6 장 참고문헌 ... 29

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

관련 콘텐츠

이 보고서와 함께 이용한 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로