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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국화학연구원 Korea Research Institute of Chemical Technology |
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연구책임자 | 서영덕 |
참여연구자 | 진승민 , 남상환 , 이혜미 , 박효선 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-06 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 미래창조과학부 KA |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201300035382 |
과제고유번호 | 1345172918 |
DB 구축일자 | 2013-12-21 |
키워드 | 탐침 주사 현미경,라만분광학,표면증강라만분광학,펨토초라만분광학,단분자수준분광학Scanning Probe Microscopy,Raman Spectroscopy,Surface Enhanced Raman Spectroscopy,Femtosecond Raman Spectroscopy,Single Molecule Spectroscopy |
Ⅲ. 연구개발의 내용 및 범위
AFM-공초점 Raman 현미경 기술, 펨토초 Raman 분광기술, 단분자 수준 형광(Fluorescenece) 및 발광(Luminescene) 분석 기술 등의 고감도 레이저 분광학기술들을 활용하여 표면 입자의 화학분자 작용기에 대한 나노분석평가 응용시스템기술을 개발한다. 이 기술을 HD급 이상 또는 차세대 휴대폰용 고밀도 디스플레이 공정이나 차세대 나노반도체 물질의 표면에 발생하는 불순물입자의 분석에 적용하여 이에 대한 분자화학적 비파괴 분석을 행할 수 있는 나노 분광학 응용 시스템 기술을 개발
Nano Spectroscopic Application System was developed for molecular chemically probing and analyzing nano impurity on HD display materials and nanometer scale semiconductor device surfaces with non-destructive Raman and high sensitivity Laser spectroscopy.
We have developed Atomic Force Microscopy
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