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NTIS 바로가기주관연구기관 | 창원대학교 Changwon National University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 교육과학기술부 Ministry of Education and Science Technology(MEST) |
등록번호 | TRKO201300035542 |
과제고유번호 | 1345174155 |
사업명 | 일반연구자지원 |
DB 구축일자 | 2013-12-21 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201300035542 |
발에 있어서 가장 중요시되는 운반자의 이동도 향상을 주목적으로 결정성 향상 및 산소계 흡착종 부착을 최소화 하는 적절한 박막 제조조건을 도출하고 이 투명전극이 ZnO 기반 전자소자와 호환 가능한지 여부를 평가함으로써 신개념 소자인 투명전자소자에의 적용 가능성을 모색하고 동시에 향후 연구의 확장을 위한 기본자료를 확보할 목적으로 수행되었다.
본 연구의 1단계 수행에서 RF 마그네트론 스퍼터링, PLD, 펄스 DC 마그네트론 스퍼터링 등의 기법간비교 연구를 통해 펄스 DC 마그네트론 스퍼터링이 Ga이 도핑된 ZnO(GZO) 전도성
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