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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기초과학지원연구원 Korea Basic Science Institute |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-08 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201300035693 |
DB 구축일자 | 2013-12-21 |
Ⅲ. 연구개발의 내용 및 범위
1. InGaN 기반의 무분극 질화물반도체의 MOCVD 박막 특성 평가 기술 개발(XRD, Hall measurement)
2. metal agglomeration 분포 및 크기 제어 기술을 통한 나노 pillar 마스크 제작 기술
3. 200 nm급 대면적 나노구조 패터닝 공정 응용 기술 개발
4. ICP 에칭을 이용한 LED nano-pillar 형성 및 shape 제어 기술
5. nano-pillar구조 LED의 광특성 평가 기술 (PL dynamics)
Ⅱ. Results of the research
1. Characterization of non-polar InGaN-based MOCVD. (XRD, Hall measurement)
2. Development of nano-pillar mask making skills through the control the distribution and size of metal agglomeration.
3. Developing the patterning technology with 200 nm-class on the l
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