초록 ▼

3. 기반구축(기술개발) 내용 및 범위
가. 기술개발 및 장비구축
(1) 가스, 폐수, 에너지 등 녹색생산기술연구센터의 3가지 연구주제에 대한 연구기반 마련
(2) 디스플레이 제조시 발생하는 SF6 온실가스 농축, 분해, 처리, 회수기술개발 기반 조성
(3) 반도체 산업폐수의 처리, 재이용, 재자원화 기술개발 및 분석 인프라 지원
(4) 장비 및 설비 소모 에너지 최소화를 위한 친환경 IT 솔루션 확보
나. 기술의 표준화 및 산업화 연계
(1) 측정 표준절차서 마련
(2) KS 규격 제안<

3. 기반구축(기술개발) 내용 및 범위
가. 기술개발 및 장비구축
(1) 가스, 폐수, 에너지 등 녹색생산기술연구센터의 3가지 연구주제에 대한 연구기반 마련
(2) 디스플레이 제조시 발생하는 SF6 온실가스 농축, 분해, 처리, 회수기술개발 기반 조성
(3) 반도체 산업폐수의 처리, 재이용, 재자원화 기술개발 및 분석 인프라 지원
(4) 장비 및 설비 소모 에너지 최소화를 위한 친환경 IT 솔루션 확보
나. 기술의 표준화 및 산업화 연계
(1) 측정 표준절차서 마련
(2) KS 규격 제안
(3) 녹색생산기술 관련 제품 및 시스템 구축 및 field test 지원
(4) 생산 라인 투입을 통한 신뢰도 확보 테스트 지원
(5) 중소기업육성을 위한 장비 및 기술개발 지원
(6) 대기업-중소기업 상생을 위한 기술 협력 지원
(7) 지적재산권 확보 및 기술이전
다. 녹색생산관련 고급전문인력 양성 및 경력관리
(1) 학제 편성 및 교과과정 체계 안정화
(2) 교육프로그램 개선 및 신규개발
(3) 인력양성운영위원회 활성화
(4) GM 핵심 전문인력 경력관리 트랙킹 체계 구축
라. 정보구축 및 보급확산
(1) 녹색생산기술 관련 최신기술동향, 전문연구정보, 전문 인력 DB 구축
(2) 구축된 장비, 인력 등 인프라 제공
(3) 인프라 사용확대를 위한 기술, 교육 등 서비스 제공
(4) 기술이전 등을 통한 신상업 창출 기반 마련
(5) 국내 기업체, 학교, 연구소 전문가들의 장단기 방문연구를 통한 산학연 협력연구를 통한 정보 및 지식의 확산
(6) 기술교류회, 온라인 포럼 등을 통한 정보공유 및 확산

목차 Contents

• 연차보고서 제출서 ... 1
• 제출문 ... 2
• 요약서 (초록) ... 3
• 목차 ... 9
• 제1장 총 괄 ... 12
• 제1절 반도체 디스플레이 녹색생산기술 연구기반구축 ... 14
• 1. 개요 ... 14
• 2. 사업의 성격 및 특징 ... 14
• 제2절 사업 최종목표 및 내용 ... 17
• 1. 사업목표 ... 17
• 2. 사업내용 ... 19
• 제3절 당해년도 기반구축 및 연구개발 목표 및 내용 ... 22
• 1. 당해년도 기반구축 목표 ... 22
• 2. 당해년도 기반구축 추진일정 및 세부내용 ... 23
• 3. 당해년도 연구개발 목표 ... 25
• 4. 당해년도 연구개발 추진일정 및 세부내용 ... 26
• 제4절 당해년도 사업변경 내용 ... 28
• 제2장 반도체.디스플레이 녹색생산기술 연구기반구축 ... 30
• 제1절 반도체.디스플레이 녹색생산기술 연구기반 인프라 구축 ... 30
• 1. 대표 성과 ... 30
• 2. 연구기반 장비 구축 ... 46
• 3. 인력양성 ... 56
• 4. 표준화 연구 (한국표준과학연구원) ... 69
• 5. 성과의 보급 및 확산 ... 85
• 6. 홍보 및 대외활동 ... 101
• 제2절 반도체 디스플레이 녹색생산기술 연구기반구축 성과현황 ... 107
• 1. 계량성과 및 비계량성과 ... 107
• 2. 기반구축 GMRC 운영위원회 및 역할 ... 113
• 제3절 반도체 디스플레이 녹색생산기술 연구기반 인프라 운영 ... 114
• 1. 구축장비의 운영 ... 114
• 2. 과제 종료 후 기관의 운영 방안 ... 117
• 제4절 사업의 기대효과 및 향후 계획 ... 119
• 1. 사업의 기대효과 ... 119
• 2. 활용방안 ... 119
• 제3장 온실가스 감축을 위한 디스플레이 생산설비 SF6 농축 기술 ... 121
• 제1절 최종 및 당해년도의 기반구축 목표 ... 121
• 1. 최종 기반구축 목표 ... 121
• 2. 당해년도의 기반구축 목표 ... 121
• 제2절 사업변경내역 ... 122
• 제3절 전처리 설비 ... 123
• 1. 개요 ... 123
• 2. 배경기술 ... 123
• 3. 전처리 설비의 개발 ... 126
• 4. Pilot Test ... 128
• 제4절 SF6 분리/농축 Pilot Test ... 132
• 1. 100LPM SF6 분리/농축 (1차 Pilot Test) ... 133
• 2. 100LPM SF6 분리/농축 (2차 Pilot Test) ... 138
• 3. SF6 가압식 농축 (3차 Pilot Test) ... 140
• 제5절 하이브리드 멤브레인 개발 ... 142
• 1. Zeolitic Immidazolate Framework (ZIF)에 기반한 하이브리드 멤브레인 개발 ... 142
• 제6절 SF6 분리용 semi-pilot 시스템 구축 ... 155
• 제7절 전산모사를 통한 SF6 분리-농축 시스템 설계인자 추출 ... 156
• 1. 연구 필요성 및 목적 ... 156
• 2. 중공사 분리막을 이용한 기체 분리 예측용 전산 모델 개발 ... 157
• 제8절 과제 환경 조성을 위한 고밀도 플라즈마 Dry Etcher 제작 및 공정 평가 ... 165
• 1. 개요 ... 165
• 2. 개발 장비 개요 ... 165
• 3. Dry Etcher 장비 기초 평가 ... 166
• 제9절 정량적 목표 달성도 ... 178
• 제10절 파급효과 및 활용방안 ... 178
• 1. 전처리 기술개발시 예상되는 파급효과 및 활용방안 ... 178
• 2. 분리 농축용 고효율 혼성 시스템 개발시 예상되는 파급효과 및 활용방안 ... 180
• 제4장 반도체 생산설비 폐수저감 및 재활용 기술 개발 ... 185
• 제1절 반도체 생산설비 폐수저감 및 재활용 기술 개발 ... 185
• 1. 개발 배경 및 목표 ... 185
• 2. 전처리 기술 ... 189
• 3. 주처리 기술 ... 196
• 4. 후처리 기술 ... 208
• 제2절 반도체 생산설비 폐수저감 및 재활용 기술 개발 ... 214
• 1. 2차년도 성과 ... 214
• 2. 전처리 기술 ... 219
• 3. 주처리 기술 ... 233
• 4. 후처리 기술 ... 256
• 제5장 반도체.디스플레이 녹색생산을 위한 에너지 절감 기술 개발 ... 264
• 제1절 반도체 디스플레이 녹색생산을 위한 에너지 절감 기술 개발 ... 264
• 1. 연구 개발 개요 ... 264
• 2. 요소 기술별 상세 개발 내용 ... 269
• 3. 반도체.디스플레이 장비 에너지 사용량 측정.분석 표준 ... 309
• 제2절 반도체 디스플레이 녹색 생산을 위한 에너지 절감 기술 개발사업 성과 ... 359
• 1. 2차년도 정량적 목표 및 실적 ... 359
• 2. 정성적 연구 성과 ... 373
• 3. 참여기관간 연구 결과 공유를 위한 통합 연구 개발 환경 구축 ... 378