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NTIS 바로가기주관연구기관 | (재)포항금속소재산업진흥원 |
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연구책임자 | 이진현 |
참여연구자 | 박병호 , 김동욱 , 이재융 , 김성태 , 윤진우 , 임삼섭 , 김종헌 , 전창섭 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201400001366 |
과제고유번호 | 1425072741 |
사업명 | 중소기업융복합기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2014-05-17 |
키워드 | 솔라셀.웨이퍼.정밀세정장비.슬러리 제거.연속제어. |
개발목표
계획
- 연속제어식 정밀 솔라셀 웨이퍼 자동화 세정시스템 개발
- 세정을 위한 제어 시스템 및 알고리즘 개발
실적
- 최종 웨이퍼 세정 시스템 개발
- 제어 시스템 및 알고리즘 최적화
- 정량적 항목 평가 및 달성
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