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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)져스텍 |
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연구책임자 | 최동수 |
참여연구자 | 조남규 , 유숙철 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-07 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200007088 |
과제고유번호 | 1415152274 |
사업명 | 우수기술연구센터(ATC) |
DB 구축일자 | 2022-09-03 |
키워드 | 450밀리미터.반도체.웨이퍼 검사기.6자유도.모션 스테이지. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
450mm 반도체 생산 공정을 위한 웨이퍼 검사기용 1m/s, 3G급 6자유도 모션스테이 기술 개발
□ 개발내용 및 결과
1단계 개발 내용
- Alloy 구조의 XYT 모션 스테이지 설계/제작
- Z-Tip-Tilt 모션 스테이지 설계
- 저전압, 고속 PWM스위칭 기반 앰프 제작/성능 개선
- 6자유도 구동정도 측정 시스템 설계/개발
- 6자유도 측정 시스템 보상기술 적용 및 최정 성능 평가
2단계 개발 내용
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